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微波氢等离子体发射光谱诊断

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微波氢等离子体发射光谱诊断
论文目录
 
1 绪论第1-29 页
  · 等离子体简介第7 页
  · 等离子体的诊断方法第7-17 页
    · 探针法第7-8 页
    · 光谱法第8-16 页
      · 发射光谱法第9-13 页
      · 激光诱导荧光第13-14 页
        · 激光诱导荧光法测量气体温度第13-14 页
      · 速度调制激光光谱技术第14-16 页
    · 质谱法第16-17 页
  · 等离子体的产生方式第17-24 页
    · 微波放电第17-21 页
    · 高频放电第21-23 页
    · 直流放电第23-24 页
  · 本论文的主要内容第24-25 页
  参考文献第25-29 页
2 实验装置和实验过程第29-33 页
  · 实验装置第29-31 页
    · 微波发生及传输系统第29-30 页
    · 微波放电系统第30 页
    · 配气和抽气系统第30-31 页
    · 发射光谱测量系统第31 页
    · 水冷系统第31 页
  · 实验过程简述第31-33 页
3 实验结果及讨论第33-39 页
  · 纯氢气条件下氢原子的谱线强度随气体流量的变化第33-34 页
  · 氩(3.54%)+氢微波等离子体中谱线强度随压力的变化第34-35 页
  · 氩(3.54%)+氢微波等离子体中谱线强度随输入功率的变化第35-36 页
  · 等注入功率情况下,氩(3.54%)+氢微波等离子体中谱线强度比随气压的变化第36-37 页
  · 等功率密度下,氩(·4%)+氢微波等离子体中谱线强度比随气压的变化第37-38 页
  参考文献第38-39 页
4 氢分子解离率的计算第39-54 页
  · 前言第39-40 页
  · 基态氢原子浓度计算公式推导第40-43 页
  · 激发截面的计算第43-47 页
    · 发射光谱法测定电子直接激发截面第44-45 页
    · 电子能量损失谱测定电子直接激发截面第45-47 页
      · 电子能量损失谱仪第45-46 页
      · 微分散射截面第46 页
      · 积分散射截面和全截面第46-47 页
  · 氢分子解离激发的影响第47 页
  · 氢气解离率的计算第47-49 页
  · 激发态Ar(750.3nm)和H(n=3)与H_2分子碰撞的淬灭速率常数的计算第49-50 页
  · 不同气体温度下氢气分子的解离率第50 页
  · 放电小球中氢原子的空间分布第50-51 页
  参考文献第51-54 页
5 总结与展望第54-55 页
  · 实验总结第54 页
  · 问题与展望第54-55 页
致谢第55-56 页
附录A第56-58 页
附录B第58-60 页
附录C第60-62 页
附录D第62-64 页
附录E第64-66 页

本篇论文共66页,点击这进入下载页面
 
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