波长调谐相移干涉测量技术的研究

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波长调谐相移干涉测量技术的研究

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波长调谐相移干涉测量技术的研究

论文目录
摘要	第10-11 页
ABSTRACT	第11-12 页
第一章绪论	第12-15 页
§· 相移干涉测量技术的基本情况	第12 页
§· 本课题的由来	第12-13 页
§· 方案论证	第13-15 页
第二章实验原理及方法	第15-24 页
§· 实验原理	第15-17 页
§· 实验方法	第17-24 页
第三章实验系统的建立	第24-48 页
§· 干涉系统光源	第24-37 页
§· 半导体激光器波长调谐	第25 页
§· 半导体激光器的温控	第25-28 页
§· 半导体激光器的驱动电路和电源	第28-32 页
§· 半导体激光器的参数测量	第32-37 页
§· 计算机系统	第37-46 页
§· 相位解包裹技术	第37-40 页
§· Zernike多项式拟合	第40-42 页
§· Zernike多项式拟合后的分析	第42-43 页
§· 计算机编程	第43-44 页
§· 系统界面	第44-46 页
§· 干涉系统	第46-47 页
§· 摄像系统	第47 页
§· 数字化图像系统	第47-48 页
第四章实验及误差分析	第48-71 页
§· 实验及分析	第49-63 页
§· 实验一	第49-51 页
§· 实验二	第51-53 页
§· 实验三	第53-55 页
§· 实验四	第55-58 页
§· 实验五	第58-60 页
§· 实验六	第60-61 页
§· 实验七	第61-63 页
§· 误差分析	第63-71 页
§· 相移步进误差	第63-66 页
§· 激光光强的变化	第66-67 页
§· 相位主值图解包裹过程中的失效区域	第67-69 页
§· Zernike多项式拟合精度	第69 页
§· 干涉系统本身的误差	第69 页
§· 被测面自身面形的变化	第69-70 页
§· 窗函数应用中的近似误差	第70-71 页
第五章总结	第71-73 页
致谢	第73-74 页
参考文献	第74-76 页
附录攻读硕士学位期间发表的学术论文	第76 页

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