磁控反应溅射制备TiN/AlN双层薄膜及性能的研究

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磁控反应溅射制备TiN/AlN双层薄膜及性能的研究

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磁控反应溅射制备TiN/AlN双层薄膜及性能的研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第1章绪论	第8-13页
· 表面涂层的研究背景	第8-9页
· TiN及复合涂层的研究	第9-10页
· TiN涂层的研究	第9页
· TiN复合涂层的研究进展	第9-10页
· TiN/AlN薄膜的性能	第10-12页
· 本文的主要研究内容	第12-13页
第2章薄膜的制备与检测	第13-23页
· 薄膜的制备原理与镀膜设备	第13-17页
· 溅射镀膜原理	第13-16页
· 溅射镀膜设备	第16-17页
· 薄膜的检测	第17-23页
· 试验材料及技术路线	第17-18页
· 薄膜的结构与性能分析	第18-23页
第3章工艺参数对TiN薄膜的影响	第23-38页
· 溅射气压对TiN薄膜结构与性能的影响	第23-28页
· 溅射气压对TiN薄膜结晶取向的影响	第23-25页
· 溅射气压对TiN薄膜沉积速率的影响	第25-26页
· 溅射气压对TiN薄膜表面形貌的影响	第26-28页
· 基底温度对TiN薄膜结构与性能的影响	第28-32页
· 基底温度对TiN薄膜结晶取向的影响	第28-29页
· 基底温度对TiN薄膜沉积速率的影响	第29-30页
· 基底温度对TiN薄膜表面形貌的影响	第30-32页
· 溅射电流对TiN薄膜结构与性能的影响	第32-38页
· 溅射电流对TiN薄膜结晶取向的影响	第33-34页
· 溅射电流对TiN薄膜沉积速率的影响	第34-35页
· 溅射电流对TiN薄膜表面形貌的影响	第35-38页
第4章 AlN薄膜沉积及性能分析	第38-44页
· 溅射气压对AlN薄膜的结构的影响	第38-40页
· AlN薄膜的沉积速率和表面粗糙度与溅射气压的关系	第40-41页
· AlN薄膜的光学性能	第41-44页
第5章 TiN/AlN双层薄膜的制备及性能研究	第44-56页
· TiN/AIN双层薄膜的结构与表面形貌研究	第44-47页
· 不同基底温度对沉积TiN/AlN双层膜结晶取向的影响	第44-45页
· 不同基底温度对沉积TiN/AlN双层膜表面形貌的影响	第45-47页
· TiN/AlN双层膜性能研究	第47-56页
· TiN/AlN双层膜的结构分析	第47-48页
· TiN/AlN双层膜的光学性能分析	第48-49页
· TiN/AlN双层膜的耐腐性分析	第49-51页
· TiN/AlN双层膜的抗氧化性能分析	第51-56页
第6章结论	第56-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-64页
攻读学位期间的研究成果	第64 页

本篇论文共64页，点击这进入下载页面。

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