齿轮表面碳化硼薄膜的制备及性能研究

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齿轮表面碳化硼薄膜的制备及性能研究

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齿轮表面碳化硼薄膜的制备及性能研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
1 绪论	第11-27页
· 碳化硼概述	第11-14页
· 碳化硼薄膜的研究背景	第14页
· 碳化硼薄膜的研究现状	第14-17页
· 碳化硼薄膜的制备技术	第14-16页
· 耐磨减摩碳化硼薄膜研究中存在的问题	第16-17页
· 磁控溅射沉积技术	第17-21页
· 溅射原理	第17-18页
· 磁控溅射技术	第18-19页
· 非平衡直流磁控溅射	第19-21页
· 碳化硼薄膜的结构和性能表征	第21-23页
· 扫描电子显微分析	第21页
· 透射电子显微分析	第21-22页
· 原子力显微术	第22页
· X射线衍射分析	第22页
· 拉曼光谱分析	第22页
· X射线光电子能谱分析	第22-23页
· 摩擦磨损试验测试	第23页
· 本课题研究的意义和主要内容	第23-27页
2 偏压对碳化硼薄膜结构和性能的影响	第27-35页
· 引言	第27页
· 实验	第27-28页
· 薄膜的制备	第27页
· 薄膜的表征	第27-28页
· 结果与讨论	第28-34页
· 薄膜的微观形貌	第28-29页
· 薄膜的微观结构	第29-31页
· 薄膜的机械性能	第31-32页
· 薄膜的摩擦学性能	第32-34页
· 小结	第34-35页
3 石墨靶电流对碳化硼薄膜微观结构和性能的影响	第35-45页
· 引言	第35页
· 实验	第35-36页
· 薄膜的制备	第35页
· 薄膜的表征	第35-36页
· 结果与讨论	第36-43页
· 薄膜的微观形貌	第36-37页
· 薄膜的微观结构	第37-38页
· 薄膜的机械性能	第38-40页
· 薄膜的摩擦学性能	第40-43页
· 小结	第43-45页
4 BCx/a-C薄膜的制备及性能研究	第45-58页
· 引言	第45页
· 实验	第45-46页
· 薄膜的制备	第45-46页
· 薄膜的表征	第46页
· 结果与讨论	第46-57页
· 薄膜的微观形貌	第46页
· 薄膜的微观结构	第46-49页
· 薄膜的机械性能	第49-51页
· 薄膜的摩擦学性能	第51-54页
· 薄膜的热稳定性	第54-55页
· 薄膜的启停可靠性	第55-57页
· 小结	第57-58页
5 BCx/a-C薄膜和Cr/a-C薄膜的对比研究	第58-67页
· 引言	第58页
· 实验	第58-59页
· 薄膜的制备	第58页
· 薄膜的表征	第58-59页
· 结果和讨论	第59-66页
· 薄膜的微观结构	第59-60页
· 薄膜的机械性能	第60-61页
· 常温下薄膜的摩擦学性能	第61-64页
· 高温下薄膜的摩擦学性能	第64-66页
· 小结	第66-67页
结论	第67-69页
致谢	第69-70页
参考文献	第70-74页
攻读学位期间的研究成果	第74页

本篇论文共74页，点击这进入下载页面。

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