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基于柔性微电极阵列的人工皮肤关键技术研究

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基于柔性微电极阵列的人工皮肤关键技术研究
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-15页
  · 课题背景第8页
  · 研究意义第8-10页
  · 国内外研究现状第10-15页
    · 柔性压力传感器第10页
    · 柔性触觉传感器第10-11页
    · 柔性可拉伸传感器第11-15页
第2章 柔性可拉伸微电极的制备第15-33页
  · 引言第15页
  · 实验材料及设备第15-20页
    · 聚二甲基硅氧烷及其性能参数第16-18页
    · 磁控溅射镀膜系统及其工作原理第18-20页
  · 柔性基底制备第20-23页
    · 柔性基底制备过程第20-21页
    · 柔性基底制备的影响因素第21-23页
  · 柔性基底上金薄膜的制备第23-27页
    · MEMS技术第23-24页
    · 金薄膜制备工艺第24-26页
    · 影响因素第26-27页
  · 金薄膜的微观形貌与性能研究第27-32页
    · 金薄膜形貌的表征第27-29页
    · 金薄膜形貌的性能研究第29-32页
  · 本章小结第32-33页
第3章 柔性可拉伸微电极的封装与测试第33-43页
  · 引言第33页
  · 柔性可拉伸微电极封装第33-37页
    · 切割和边缘处理第34页
    · 旋涂绝缘层第34-35页
    · 引出导线第35-36页
    · 封装屏蔽第36-37页
  · 柔性可拉伸微电极的基本指标第37页
  · 柔性可拉伸微电极的性能测试第37-42页
    · 动态测试系统的建立第37-39页
    · 基本性能测试第39-42页
  · 本章小结第42-43页
第4章 基于等效电阻网络模型的电阻特性分析第43-54页
  · 引言第43页
  · 柔性可拉伸微电极的电阻变化V.S.应变原理第43-44页
  · 等效电阻网络模型的建立第44-50页
  · 柔性可拉伸微电极实验与分析第50-53页
    · 柔性可拉伸微电极的标定验证第50-52页
    · 误差分析第52-53页
  · 本章小结第53-54页
第5章 总结与展望第54-55页
参考文献第55-58页
攻读硕士期间参与的项目和申请的专利第58-59页
致谢第59-60页

本篇论文共60页,点击这进入下载页面
 
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