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Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究

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Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-27页
  · 引言第10页
  · 多层膜的性能及其研究现状第10-15页
    · 多层膜的硬度第11-13页
    · 多层膜的摩擦磨损性能第13-15页
    · 多层膜的热稳定性第15页
  · 多层膜的制备技术第15-26页
    · 多弧离子镀第15-16页
    · 磁控溅射第16-22页
    · 等离子体化学气相沉积第22-23页
    · 离子束辅助沉积第23-26页
  · 论文的研究目标及研究内容第26-27页
2 实验方法第27-34页
  · 试样的准备第27页
  · 镀膜设备第27-28页
  · 实验设计第28-30页
    · TiN 膜的工艺参数优化第29页
    · Ti/TiN 多层膜优化工艺参数设计第29-30页
  · 薄膜性能分析测试方法第30-34页
    · 结合强度测试第30-31页
    · 膜层厚度测试第31-32页
    · 硬度测试第32页
    · 缺陷的定量分析第32-34页
3 TiN 薄膜工艺参数优化第34-53页
  · 表面形貌第34-42页
    · 宏观评价及其结果分析第34-36页
    · 表面缺陷数量及结果分析第36-39页
    · 表面缺陷面积比例及结果分析第39-42页
  · 膜层厚度测量第42-44页
  · 膜层力学性能测试第44-52页
    · 膜/基结合力及其结果分析第44-47页
    · 膜层硬度及其结果分析第47-52页
  · 小结第52-53页
4 Ti/TiN 多层膜的工艺参数选择及性能研究第53-64页
  · 脉冲送气对膜层性能的影响第53-55页
  · 脉冲送气对氮气流量选择的影响第55-56页
  · 调制周期对Ti/TiN 多层膜性能的影响第56-60页
    · 调制周期实验参数选择第56-57页
    · 调制周期对 Ti/TiN 多层膜性能的影响第57-60页
  · 调制比对Ti/TiN 多层膜性能的影响第60-63页
    · 调制比实验参数选择第60-61页
    · 调制比对 Ti/TiN 多层膜性能的影响第61-63页
  · 小结第63-64页
5 结论及建议第64-65页
致谢第65-66页
参考文献第66-71页
附录第71页

本篇论文共71页,点击这进入下载页面
 
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