六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究

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六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究

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六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第一章绪论	第9-28页
· 微加速度计研究现状	第10-13页
· 压阻式微加速度计	第11页
· 电容式微加速度计	第11-12页
· 扭摆式微加速度计	第12-13页
· 静电悬浮加速度计国内外研究现状	第13-20页
· 国外研究现状	第14-19页
· 国内研究现状	第19-20页
· 静电悬浮检测技术和控制方案的研究	第20-25页
· 电容检测技术	第21-23页
· 悬浮控制系统研究进展	第23-25页
· 本课题研究意义和主要内容	第25-26页
· 本章小结	第26-28页
第二章静电悬浮加速度计的结构及工作原理	第28-41页
· 静电悬浮加速度计的结构	第28-32页
· 加速度计的整体结构	第28-29页
· 悬浮电极配置方案	第29-32页
· 静电悬浮加速度计的工作原理	第32-35页
· 电容分析	第33-34页
· 静电力分析	第34-35页
· 阻尼理论	第35-39页
· 空气阻尼的理论计算与分析	第36-39页
· 阻尼系数影响因素分析	第39页
· 性能指标	第39-40页
· 本章小结	第40-41页
第三章六轴静电悬浮控制器设计与仿真	第41-60页
· 悬浮控制器的数学模型	第41-44页
· 模糊-PID 控制器	第44-50页
· PID 控制器设计	第44-47页
· 模糊控制器	第47-50页
· 悬浮控制系统的设计与仿真	第50-56页
· 沿Z 轴轴向平动控制器	第50-53页
· X（Y）向平动控制器	第53-54页
· 绕X（Y）轴转动控制器	第54-55页
· 绕Z 轴转动控制器	第55-56页
· 集中控制策略与非集中控制策略	第56-59页
· 本章小结	第59-60页
第四章基于DSP 的六轴加速度计测控系统设计与实现	第60-82页
· 基于DSP 的测控系统组成	第60-61页
· 静电悬浮控制外围电路	第61-65页
· 差分电容检测	第61-62页
· 二次交流放大电路	第62页
· 带通和低通滤波器	第62-64页
· 相位调节和相敏解调电路	第64-65页
· 基于TSM32028335 系列DSP 芯片的控制系统	第65-76页
· TMS320F28335 DSP 系统概述	第65-66页
· DSP 芯片及开发板硬件组成	第66-68页
· A/D 转换	第68-72页
· D/A 转换	第72-76页
· 控制系统软件组成	第76-81页
· 初始化和中断	第77-78页
· AD 采样	第78-80页
· 模糊-控制PID 的实现	第80页
· D/A 转换	第80-81页
· 本章小结	第81-82页
第五章总结与展望	第82-84页
· 全文研究总结	第82-83页
· 研究展望	第83-84页
参考文献	第84-87页
致谢	第87-88页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文	第88-90 页

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