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微机电引信安全与解除保险装置结构设计
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微机电引信安全与解除保险装置结构设计
论文目录
摘要
第1-4页
Abstract
第4-5页
目录
第5-8页
1 绪论
第8-19页
· 选题背景
第8-14页
· 引信的特点与功能
第9页
· 引信安全系统
第9-11页
· MEMS技术的基本概念及特点
第11-13页
· MEMS技术在引信中的应用
第13-14页
· 引信MEMS S&A装置的发展状况
第14-17页
· 国内外引信MEMS S&A装置的研究状况
第14页
· 典型引信MEMS S&A装置分析
第14-17页
· 本文主要研究工作
第17-19页
2 电磁驱动引信MEMS S&A装置总体结构设计
第19-32页
· 电磁驱动引信MEMS S&A装置
第19-21页
· 电磁驱动引信MEMS S&A装置设计思路
第19-21页
· 电磁驱动引信MEMS S&A装置作用过程
第21页
· 电磁驱动引信MEMS S&A装置前期设计
第21-24页
· 隔爆机构前期设计方案
第21-23页
· 前期设计存在的问题
第23-24页
· 电磁驱动引信MEMS S&A装置改进设计
第24-29页
· 中间滑块和锁销的改进设计
第24-26页
· 锁销弹簧的改进设计
第26-28页
· 底板和上盖板的改进设计
第28-29页
· 后坐机构设计
第29-30页
· 其它结构设计
第30-31页
· 本章小结
第31-32页
3 电热驱动引信MEMS S&A装置总体结构设计
第32-43页
· 微驱动器的功能及分类
第32-33页
· 电热微驱动器结构设计
第33-38页
· 电热微驱动器设计思想
第33-35页
· 双热臂U形梁电热微驱动器设计
第35-36页
· 双热臂U形梁电热微驱动器仿真优化
第36-38页
· 电热驱动引信MEMS S&A装置隔爆机构
第38-39页
· 新型隔爆机构设计与仿真
第39-42页
· 隔爆机构设计思路
第39-40页
· 隔爆机构设计
第40-41页
· 隔爆机构计算与仿真
第41-42页
· 本章小结
第42-43页
4 引信MEMS S&A装置工艺技术
第43-54页
· MEMS加工工艺
第43-48页
· 体硅微加工
第43页
· 表面硅微加工
第43-44页
· 光刻
第44-46页
· LIGA技术与UV-LIGA技术
第46-48页
· 加工工艺软件模拟
第48-52页
· Coventor Ware软件简介
第48-49页
· 隔爆机构工艺模拟
第49-51页
· 电热微驱动器工艺模拟
第51-52页
· 物理样机的制备
第52-53页
· 本章小结
第53-54页
5 引信MEMS S&A装置集成装配与实验分析
第54-64页
· 电磁驱动引信MEMS S&A装置集成装配
第54-55页
· 微拉力实验
第55-56页
· 实验目的及仪器
第55页
· 实验方法及步骤
第55-56页
· 实验结果及分析
第56页
· 微驱动实验
第56-60页
· 电热微驱动实验
第56-58页
· 电磁微驱动实验
第58-60页
· 离心实验
第60-62页
· 实验目的及仪器
第60页
· 实验方法及步骤
第60页
· 实验结果及分析
第60-62页
· 抗高过载冲击实验
第62-63页
· 实验目的及仪器
第62页
· 实验方法及步骤
第62-63页
· 实验结果及分析
第63页
· 本章小结
第63-64页
6 总结
第64-67页
· 论文总结
第64-65页
· 论文创新点
第65-66页
· 对今后工作的建议
第66-67页
致谢
第67-68页
参考文献
第68-71页
附录
第71 页
本篇论文共
71
页,
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