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微机电引信安全与解除保险装置结构设计

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微机电引信安全与解除保险装置结构设计
论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-5页
目录第5-8页
1 绪论第8-19页
  · 选题背景第8-14页
    · 引信的特点与功能第9页
    · 引信安全系统第9-11页
    · MEMS技术的基本概念及特点第11-13页
    · MEMS技术在引信中的应用第13-14页
  · 引信MEMS S&A装置的发展状况第14-17页
    · 国内外引信MEMS S&A装置的研究状况第14页
    · 典型引信MEMS S&A装置分析第14-17页
  · 本文主要研究工作第17-19页
2 电磁驱动引信MEMS S&A装置总体结构设计第19-32页
  · 电磁驱动引信MEMS S&A装置第19-21页
    · 电磁驱动引信MEMS S&A装置设计思路第19-21页
    · 电磁驱动引信MEMS S&A装置作用过程第21页
  · 电磁驱动引信MEMS S&A装置前期设计第21-24页
    · 隔爆机构前期设计方案第21-23页
    · 前期设计存在的问题第23-24页
  · 电磁驱动引信MEMS S&A装置改进设计第24-29页
    · 中间滑块和锁销的改进设计第24-26页
    · 锁销弹簧的改进设计第26-28页
    · 底板和上盖板的改进设计第28-29页
  · 后坐机构设计第29-30页
  · 其它结构设计第30-31页
  · 本章小结第31-32页
3 电热驱动引信MEMS S&A装置总体结构设计第32-43页
  · 微驱动器的功能及分类第32-33页
  · 电热微驱动器结构设计第33-38页
    · 电热微驱动器设计思想第33-35页
    · 双热臂U形梁电热微驱动器设计第35-36页
    · 双热臂U形梁电热微驱动器仿真优化第36-38页
  · 电热驱动引信MEMS S&A装置隔爆机构第38-39页
  · 新型隔爆机构设计与仿真第39-42页
    · 隔爆机构设计思路第39-40页
    · 隔爆机构设计第40-41页
    · 隔爆机构计算与仿真第41-42页
  · 本章小结第42-43页
4 引信MEMS S&A装置工艺技术第43-54页
  · MEMS加工工艺第43-48页
    · 体硅微加工第43页
    · 表面硅微加工第43-44页
    · 光刻第44-46页
    · LIGA技术与UV-LIGA技术第46-48页
  · 加工工艺软件模拟第48-52页
    · Coventor Ware软件简介第48-49页
    · 隔爆机构工艺模拟第49-51页
    · 电热微驱动器工艺模拟第51-52页
  · 物理样机的制备第52-53页
  · 本章小结第53-54页
5 引信MEMS S&A装置集成装配与实验分析第54-64页
  · 电磁驱动引信MEMS S&A装置集成装配第54-55页
  · 微拉力实验第55-56页
    · 实验目的及仪器第55页
    · 实验方法及步骤第55-56页
    · 实验结果及分析第56页
  · 微驱动实验第56-60页
    · 电热微驱动实验第56-58页
    · 电磁微驱动实验第58-60页
  · 离心实验第60-62页
    · 实验目的及仪器第60页
    · 实验方法及步骤第60页
    · 实验结果及分析第60-62页
  · 抗高过载冲击实验第62-63页
    · 实验目的及仪器第62页
    · 实验方法及步骤第62-63页
    · 实验结果及分析第63页
  · 本章小结第63-64页
6 总结第64-67页
  · 论文总结第64-65页
  · 论文创新点第65-66页
  · 对今后工作的建议第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-71页
附录第71 页

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