共面波导法测量BST薄膜参数研究

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共面波导法测量BST薄膜参数研究

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共面波导法测量BST薄膜参数研究

论文目录
摘要	第1-5 页
ABSTRACT	第5-9 页
1 绪论	第9-14 页
· BST 薄膜的特点和应用	第9-10 页
· BST 薄膜微波参数测试研究现状	第10-13 页
· 论文的研究意义	第13 页
· 论文的主要研究内容	第13-14 页
2 共面波导法测试的理论基础	第14-30 页
· 微波传输线理论	第14-17 页
· 传输线的电路模型	第14-16 页
· 传输线的特性参数	第16-17 页
· 共面波导的微波传输特点	第17-21 页
· 阻抗匹配和S 参数（散射参数）	第21-24 页
· TRL 校准技术	第24-27 页
· 电磁算法	第27-29 页
· 本章小结	第29-30 页
3 共面波导结构的仿真、设计、版图设计与测试平台	第30-56 页
· 共面波导结构的模拟仿真	第30-35 页
· 电磁仿真软件的选择	第30-31 页
· HFSS 仿真CPW 结构的设置	第31-35 页
· CPW 测试结构的设计	第35-49 页
· 基片材料的选择	第35-36 页
· 其他介质层的选择	第36-38 页
· BST 薄膜介电常数及厚度对CPW 微波传输的影响	第38-39 页
· 金属导体材料选择及其厚度的设计	第39-42 页
· 接地面宽度w 对CPW 传输性质的影响及设计	第42-45 页
· CPW 的s，g 参数设计	第45-49 页
· TRL 校准件的设计	第49-52 页
· 测试结构的版图设计	第52-53 页
· CPW 实物制备的半导体工艺	第53-54 页
· CPW 结构的在片测试平台	第54-55 页
· 本章小结	第55-56 页
4 BST 微波参数的计算和误差分析	第56-71 页
· 直流偏压对CPW 的S 参数的影响	第56-58 页
· 保角映射法计算BST 薄膜微波参数	第58-61 页
· 保角映射法计算和HFSS 模拟结果比较	第61-63 页
· BST 微波介电参数测量的误差分析	第63-70 页
· 本章小结	第70-71 页
5 总结和展望	第71-72 页
· 总结	第71 页
· 展望	第71-72 页
致谢	第72-73 页
参考文献	第73-76 页

本篇论文共76页，点击这进入下载页面。

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