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MnO2掺杂ZnO气敏传感器阵列的制备与性能研究

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MnO2掺杂ZnO气敏传感器阵列的制备与性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-17页
  · 引言第10页
  · 微结构气敏传感器结构与原理第10-12页
  · 国内外研究现状第12-15页
  · 本文的研究意义和内容第15-17页
2 平板共面型传感器结构设计与热分析第17-36页
  · 共面结构传感器设计与制作第18-26页
  · 平面型加热器设计制作与评价第26-33页
  · 加热器一致性研究第33-35页
  · 本章小结第35-36页
3 MnO_2掺杂ZnO 平板型气敏传感器阵列气敏性能研究第36-59页
  · 引言第36页
  · 实验方案第36-39页
  · MnO_2 掺杂ZnO 厚膜物相与形貌表征第39-43页
  · 工艺参数对传感器气敏性能的影响第43-53页
  · 改进工艺处理传感器气敏性能第53-56页
  · Zn-Mn-O 材料气敏机理第56-58页
  · 本章小结第58-59页
4 MnO_2掺杂ZnO 平板型气敏传感器阵列稳定性研究第59-75页
  · MOX 气敏传感器稳定性影响因素第59-60页
  · 气敏传感器稳定性评价标准第60-62页
  · 稳定性测试方法第62-63页
  · MnO_2 掺杂ZnO 基平板型传感器稳定性测试第63-74页
  · 本章小结第74-75页
5 结论与展望第75-77页
  · 结论第75-76页
  · 展望第76-77页
致谢第77-78页
参考文献第78-82 页

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