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掺杂ZnO气敏传感器阵列的制备与性能研究
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MnO
2
掺杂ZnO气敏传感器阵列的制备与性能研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
1 绪论
第10-17页
· 引言
第10页
· 微结构气敏传感器结构与原理
第10-12页
· 国内外研究现状
第12-15页
· 本文的研究意义和内容
第15-17页
2 平板共面型传感器结构设计与热分析
第17-36页
· 共面结构传感器设计与制作
第18-26页
· 平面型加热器设计制作与评价
第26-33页
· 加热器一致性研究
第33-35页
· 本章小结
第35-36页
3 MnO_2掺杂ZnO 平板型气敏传感器阵列气敏性能研究
第36-59页
· 引言
第36页
· 实验方案
第36-39页
· MnO_2 掺杂ZnO 厚膜物相与形貌表征
第39-43页
· 工艺参数对传感器气敏性能的影响
第43-53页
· 改进工艺处理传感器气敏性能
第53-56页
· Zn-Mn-O 材料气敏机理
第56-58页
· 本章小结
第58-59页
4 MnO_2掺杂ZnO 平板型气敏传感器阵列稳定性研究
第59-75页
· MOX 气敏传感器稳定性影响因素
第59-60页
· 气敏传感器稳定性评价标准
第60-62页
· 稳定性测试方法
第62-63页
· MnO_2 掺杂ZnO 基平板型传感器稳定性测试
第63-74页
· 本章小结
第74-75页
5 结论与展望
第75-77页
· 结论
第75-76页
· 展望
第76-77页
致谢
第77-78页
参考文献
第78-82 页
本篇论文共
82
页,
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。
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