厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计

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厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计

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厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计

论文目录
摘要	第1-6页
abstract	第6-10页
第一章绪论	第10-17页
1.1 课题研究背景和意义	第10-11页
1.2 静电驱动微谐振器的研究现状	第11-15页
1.2.1 吸合效应研究现状	第12-13页
1.2.2 非线性振动研究现状	第13-14页
1.2.3 加工误差研究现状	第14-15页
1.3 目前国内外研究存在的问题	第15页
1.4 本文研究内容和创新特色及创新点	第15-17页
1.4.1 研究目标	第15页
1.4.2 研究内容	第15-16页
1.4.3 研究创新点	第16-17页
第二章厚度形态误差下单极板静电驱动微谐振器的静动态分析	第17-31页
2.1 数学建模	第17-20页
2.1.1 控制方程	第17-19页
2.1.2 Galerkin离散	第19页
2.1.3 Newton–Cotes法	第19-20页
2.2 静态分析	第20-21页
2.3 动态分析	第21-28页
2.3.1 小振幅动态分析	第23-25页
2.3.2 大振幅动态分析	第25-28页
2.4 有限元仿真验证	第28-29页
2.5 本章小结	第29-31页
第三章厚度形态误差下双极板静电驱动微谐振器的静动态分析	第31-38页
3.1 数学建模	第31-33页
3.2 静态分析	第33-35页
3.3 动态分析	第35-37页
3.3.1 小幅振动	第36页
3.3.2 参数优化	第36-37页
3.4 本章小结	第37-38页
第四章静电驱动下双参数控制变截面微梁谐振器的研究与优化	第38-57页
4.1 引言	第38-41页
4.1.1 伽辽金离散	第40-41页
4.2 静态分析	第41-44页
4.3 动态分析	第44-51页
4.3.1 参数优化	第46-49页
4.3.2 有限元仿真	第49-51页
4.4 大幅值振动	第51-55页
4.5 本章小结	第55-57页
第五章总结与展望	第57-59页
5.1 全文总结	第57-58页
5.2 问题与展望	第58-59页
参考文献	第59-64页
附录	第64-67页
附录A	第64页
附录B	第64-67页
发表论文和参加科研情况说明	第67-68页
致谢	第68页

本篇论文共68页，点击这进入下载页面。

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