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厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计

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厚度形态误差下静电驱动微梁谐振器的力学性能研究和优化设计
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-10页
第一章 绪论第10-17页
  1.1 课题研究背景和意义第10-11页
  1.2 静电驱动微谐振器的研究现状第11-15页
    1.2.1 吸合效应研究现状第12-13页
    1.2.2 非线性振动研究现状第13-14页
    1.2.3 加工误差研究现状第14-15页
  1.3 目前国内外研究存在的问题第15页
  1.4 本文研究内容和创新特色及创新点第15-17页
    1.4.1 研究目标第15页
    1.4.2 研究内容第15-16页
    1.4.3 研究创新点第16-17页
第二章 厚度形态误差下单极板静电驱动微谐振器的静动态分析第17-31页
  2.1 数学建模第17-20页
    2.1.1 控制方程第17-19页
    2.1.2 Galerkin离散第19页
    2.1.3 Newton–Cotes法第19-20页
  2.2 静态分析第20-21页
  2.3 动态分析第21-28页
    2.3.1 小振幅动态分析第23-25页
    2.3.2 大振幅动态分析第25-28页
  2.4 有限元仿真验证第28-29页
  2.5 本章小结第29-31页
第三章 厚度形态误差下双极板静电驱动微谐振器的静动态分析第31-38页
  3.1 数学建模第31-33页
  3.2 静态分析第33-35页
  3.3 动态分析第35-37页
    3.3.1 小幅振动第36页
    3.3.2 参数优化第36-37页
  3.4 本章小结第37-38页
第四章 静电驱动下双参数控制变截面微梁谐振器的研究与优化第38-57页
  4.1 引言第38-41页
    4.1.1 伽辽金离散第40-41页
  4.2 静态分析第41-44页
  4.3 动态分析第44-51页
    4.3.1 参数优化第46-49页
    4.3.2 有限元仿真第49-51页
  4.4 大幅值振动第51-55页
  4.5 本章小结第55-57页
第五章 总结与展望第57-59页
  5.1 全文总结第57-58页
  5.2 问题与展望第58-59页
参考文献第59-64页
附录第64-67页
附录A第64页
附录B第64-67页
发表论文和参加科研情况说明第67-68页
致谢第68页

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