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基于表面钝化MoS_2的肖特基太阳能电池研究

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基于表面钝化MoS_2的肖特基太阳能电池研究
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-8页
第一章 绪论第8-25页
  1.1 引言第8-11页
  1.2 MoS_2 简介第11-18页
    1.2.1 MoS_2 结构和性能第12-13页
    1.2.2 MoS_2 的制备方法第13-18页
  1.3 MoS_2 表面表面缺陷类型及钝化方法第18-24页
    1.3.1 MoS_2 表面缺陷类型第18-19页
    1.3.2 MoS_2 薄膜的表面钝化研究进展第19-24页
  1.4 本文的研究内容及意义第24-25页
第二章 材料及器件的制备工艺及表征设备第25-33页
  2.1 MoS_2/Si太阳能电池的制备及测试流程第25-26页
  2.2 MoS_2/Si太阳能电池的制备设备第26-28页
    2.2.1 MoS_2 的制备第26页
    2.2.2 MoS_2 表面等离子体处理设备第26-27页
    2.2.3 兆声清洗系统第27-28页
    2.2.4 电子束蒸发设备第28页
  2.3 MoS_2/Si太阳能电池的制备设备第28-33页
    2.3.1 金相显微镜第28-29页
    2.3.2 光学数码显微镜第29页
    2.3.3 原子力显微镜第29-30页
    2.3.4 扫描电子显微镜第30页
    2.3.5 拉曼光谱仪第30-31页
    2.3.6 X射线光电子能谱第31页
    2.3.7 高分辨透射电子显微镜第31-32页
    2.3.8 光致发光光谱仪第32页
    2.3.9 太阳光模拟器第32-33页
第三章 MoS_2 薄膜的生长及表面钝化研究第33-47页
  3.1 CVD法制备MoS_2 薄膜的生长工艺及表征第33-37页
    3.1.1 Mo箔退火流程及表征第33-34页
    3.1.2 MoS_2 薄膜的制备方法及参数第34-35页
    3.1.3 MoS_2 薄膜的转移第35-36页
    3.1.4 MoS_2 薄膜的综合表征与分析第36-37页
  3.2 MoS_2 薄膜的表面钝化方法及表征第37-46页
    3.2.1 MoS_2 薄膜的纯O2 等离子体处理及表征第37-40页
    3.2.2 MoS_2 薄膜的纯Ar等离子体处理及表征第40-41页
    3.2.3 MoS_2 薄膜的Ar/O2 等离子体处理及表征第41-46页
  3.3 本章小结第46-47页
第四章 基于表面钝化的MoS_2/Si肖特基太阳能电池第47-55页
  4.1 基于本征MoS_2/Si太阳能电池的制备与性能表征第47-49页
    4.1.1 制备MoS_2/Si太阳能电池第47页
    4.1.2 基于本征MoS_2/Si太阳能电池的性能表征第47-49页
  4.2 基于表面钝化MoS_2/Si太阳能电池的制备与性能表征第49-54页
    4.2.1 制备基于表面钝化MoS_2/Si太阳能电池第49页
    4.2.2 不同Ar/O2 处理参数的MoS_2/Si太阳能电池性能表征第49-54页
  4.3 本章小结第54-55页
第五章 总结与展望第55-57页
参考文献第57-64页
发表论文和科研情况说明第64-65页
致谢第65页

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