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基于异质双周期结构光子晶体“介观压光”效应加速度计仿真设计

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基于异质双周期结构光子晶体“介观压光”效应加速度计仿真设计
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-12页
第一章 绪论第12-17页
  · 课题研究的背景、目的和意义第12-13页
  · 国内外研究的现状第13-15页
    · 微电子机械系统第13-14页
    1.2.2 MEMS 加速度计行业前景第14页
    · 微加速度计发展趋势第14-15页
  · 本论文的主要研究内容第15-17页
第二章 麦克斯韦方程组与电磁波第17-27页
  · 麦克斯韦方程组及其物理含义第17-18页
  · 电磁波的性质和传播特性第18-24页
    · 电磁波的产生第18-20页
    · 电磁波的性质第20-21页
    · 电磁波的能量第21-23页
    · 电磁波的传播特性第23-24页
  · 电磁波波谱第24-25页
  · 本章小结第25-27页
第三章 光子晶体及其应用第27-38页
  · 光子晶体的含义、性质及其制备方法第27-29页
  · 光子晶体的分析方法第29-33页
    · 平面波展开方法第29-30页
    · 等效转移传输矩阵方法第30-32页
    · 时域差分或有限差分方法第32页
    · 多重散射矩阵方法第32-33页
  · 光子晶体的应用第33-35页
    · 光子晶体波导第33-34页
    · 高发射率光子晶体微波天线第34页
    · 光子晶体传感器第34-35页
  · 新型光子晶体结构简介与应用第35-37页
    · 一维异质双周期结构光子晶体第35-36页
    · 负折射率光子晶体第36-37页
  · 本章小结第37-38页
第四章 微传感器及加速度计第38-49页
  4.1 微传感器及 MEMS 技术第38-43页
    · 概述第38-39页
    4.1.2 MEMS 技术简介第39-43页
  · 微加速度计的结构设计及其应用发展前景第43-48页
    · 加速度计的分类及结构设计第43-47页
    · 加速度计的应用发展前景第47-48页
  · 本章小结第48-49页
第五章 介观效应及应用第49-56页
  · 介观压阻效应第49-51页
  · 介观压光效应第51-52页
  · 几种基于介观效应的微传感器简介第52-54页
    · 介观压阻型硅微压力传感器第52-53页
    · 基于介观压阻效应的硅微加速度计第53-54页
  · 本章小结第54-56页
第六章 异质双周期结构光子晶体加速度计仿真设计第56-65页
  · 异质双周期光子晶体光学特性第57-59页
  · 加速度计的结构设计及参数计算第59-61页
  · 加速度传感器结构仿真第61-62页
  · 加速度传感器模型分析第62-64页
  · 本章小结第64-65页
第七章 总结与展望第65-68页
参考文献第68-72页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果第72-73页
致谢第73 页

本篇论文共73页,点击这进入下载页面
 
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