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偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究

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偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1 绪论第8-15页
  · 课题来源第8页
  · 课题的目的和意义第8页
  · 超精密表面测量技术发展概况第8-13页
  · 本文的研究内容第13页
  · 全文各章节内容第13-15页
2 系统总体方案设计及原理分析第15-21页
  · 测量系统总体结构及原理第15-16页
  · 偏振相移干涉原理第16-20页
  · 本章小结第20-21页
3 系统硬件结构设计第21-30页
  · 系统机械结构设计第21-26页
  · 系统光学元器件的选择第26-28页
  · 本章小结第28-30页
4 系统测量软件设计第30-41页
  · 软件总体结构设计第30-32页
  · 主控程序模块第32-33页
  · 移相控制模块第33-34页
  · 干涉图采样模块第34页
  · 数据处理模块第34-39页
  · 结果显示模块第39-40页
  · 本章小结第40-41页
5 测量系统精度实验及误差分析第41-54页
  · 系统主要技术参数第41-43页
  · 系统精度测试实验第43-48页
  · 系统误差因素分析第48-53页
  · 本章小结第53-54页
6 总结与展望第54-56页
  · 全文总结第54页
  · 展望及今后工作的建议第54-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-60页
附录 1 攻读学位期间发表科研成果目录第60 页

本篇论文共60页,点击这进入下载页面
 
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