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ZnO薄膜生长行为和光学性能研究
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ZnO薄膜生长行为和光学性能研究
论文目录
摘要
第1-5 页
Abstract
第5-10 页
1 绪论
第10-22 页
· ZnO的晶体结构
第10-11 页
· ZnO的基本性质
第11-14 页
· ZnO的基本物理参数
第11-12 页
· ZnO的光学特性
第12-13 页
· p-n特性
第13 页
· 其他特性
第13-14 页
· ZnO的应用
第14-15 页
· 作为GaN的缓冲层
第14 页
· 紫外探测器
第14 页
· 太阳能电池
第14 页
· 压敏陶瓷
第14-15 页
· ZnO发光二极管
第15 页
· ZnO薄膜制备方法
第15-19 页
· 溅射法(Sputtering)
第15-16 页
· 电化学沉积(ED)
第16-17 页
· 分子束外延(MBE)
第17-18 页
· 脉冲激光沉积(PLD)
第18 页
· 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)
第18-19 页
· 溶胶-凝胶法(sol-gel)
第19 页
· 喷雾热分解法(Spray Pyrolysis)
第19 页
· ZnO薄膜的研究现状
第19-20 页
· 本论文的研究目的和内容
第20-22 页
2 ZnO薄膜的制备及表征方法
第22-33 页
· 反应磁控溅射技术制备 ZnO薄膜
第22-25 页
· 反应溅射基本原理
第22-23 页
· 实验设备
第23-25 页
· 薄膜制备条件
第25 页
· 薄膜基片的常规化学清洗
第25 页
· 电化学沉积制备ZnO薄膜
第25-26 页
· 电化学沉积的原理
第25-26 页
· 薄膜制备条件及基片处理方法
第26 页
· 薄膜的表征方法
第26-33 页
· 薄膜微观结构的表征
第26-27 页
· 薄膜表面形貌的表征
第27-30 页
· 薄膜的光学性能表征
第30-33 页
3 ZnO薄膜的两步生长方法
第33-43 页
· ZnO薄膜两步生长方法的提出
第33-34 页
· 基片刻蚀时间对两步生长ZnO薄膜生长行为的影响
第34-37 页
· 基片刻蚀时间对 ZnO薄膜表面形貌的影响
第34-35 页
· 基片刻蚀时间对 ZnO薄膜表面粗糙度的影响
第35-36 页
· 基片刻蚀时间对 ZnO薄膜表面形貌演化标度的影响
第36-37 页
· 低温沉积时间对两步生长 ZnO薄膜生长行为的影响
第37-42 页
· 低温沉积时间对 ZnO薄膜表面形貌的影响
第37-39 页
· 低温沉积时间对 ZnO薄膜表面粗糙度的影响
第39-40 页
· 低温沉积时间对 ZnO薄膜表面形貌演化标度的影响
第40-41 页
· 低温沉积时间对 ZnO薄膜微观结构的影响
第41-42 页
· 本章小结
第42-43 页
4 ZnO薄膜的电化学沉积
第43-54 页
· 电化学沉积 ZnO薄膜形貌分析
第43-45 页
· 电化学沉积 ZnO薄膜结构分析
第45-47 页
· 电化学沉积 ZnO薄膜光学性能分析
第47-51 页
· 透射光谱分析
第47-50 页
· 光致荧光光谱分析
第50-51 页
· 电化学沉积 ZnO薄膜光致荧光光谱拟合分析
第51-53 页
· 本章小结
第53-54 页
结论
第54-55 页
参考文献
第55-59 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第59-60 页
致谢
第60-61 页
本篇论文共
61
页,
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