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ZnO薄膜生长行为和光学性能研究

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ZnO薄膜生长行为和光学性能研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-10 页
1 绪论第10-22 页
  · ZnO的晶体结构第10-11 页
  · ZnO的基本性质第11-14 页
    · ZnO的基本物理参数第11-12 页
    · ZnO的光学特性第12-13 页
    · p-n特性第13 页
    · 其他特性第13-14 页
  · ZnO的应用第14-15 页
    · 作为GaN的缓冲层第14 页
    · 紫外探测器第14 页
    · 太阳能电池第14 页
    · 压敏陶瓷第14-15 页
    · ZnO发光二极管第15 页
  · ZnO薄膜制备方法第15-19 页
    · 溅射法(Sputtering)第15-16 页
    · 电化学沉积(ED)第16-17 页
    · 分子束外延(MBE)第17-18 页
    · 脉冲激光沉积(PLD)第18 页
    · 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)第18-19 页
    · 溶胶-凝胶法(sol-gel)第19 页
    · 喷雾热分解法(Spray Pyrolysis)第19 页
  · ZnO薄膜的研究现状第19-20 页
  · 本论文的研究目的和内容第20-22 页
2 ZnO薄膜的制备及表征方法第22-33 页
  · 反应磁控溅射技术制备 ZnO薄膜第22-25 页
    · 反应溅射基本原理第22-23 页
    · 实验设备第23-25 页
    · 薄膜制备条件第25 页
    · 薄膜基片的常规化学清洗第25 页
  · 电化学沉积制备ZnO薄膜第25-26 页
    · 电化学沉积的原理第25-26 页
    · 薄膜制备条件及基片处理方法第26 页
  · 薄膜的表征方法第26-33 页
    · 薄膜微观结构的表征第26-27 页
    · 薄膜表面形貌的表征第27-30 页
    · 薄膜的光学性能表征第30-33 页
3 ZnO薄膜的两步生长方法第33-43 页
  · ZnO薄膜两步生长方法的提出第33-34 页
  · 基片刻蚀时间对两步生长ZnO薄膜生长行为的影响第34-37 页
    · 基片刻蚀时间对 ZnO薄膜表面形貌的影响第34-35 页
    · 基片刻蚀时间对 ZnO薄膜表面粗糙度的影响第35-36 页
    · 基片刻蚀时间对 ZnO薄膜表面形貌演化标度的影响第36-37 页
  · 低温沉积时间对两步生长 ZnO薄膜生长行为的影响第37-42 页
    · 低温沉积时间对 ZnO薄膜表面形貌的影响第37-39 页
    · 低温沉积时间对 ZnO薄膜表面粗糙度的影响第39-40 页
    · 低温沉积时间对 ZnO薄膜表面形貌演化标度的影响第40-41 页
    · 低温沉积时间对 ZnO薄膜微观结构的影响第41-42 页
  · 本章小结第42-43 页
4 ZnO薄膜的电化学沉积第43-54 页
  · 电化学沉积 ZnO薄膜形貌分析第43-45 页
  · 电化学沉积 ZnO薄膜结构分析第45-47 页
  · 电化学沉积 ZnO薄膜光学性能分析第47-51 页
    · 透射光谱分析第47-50 页
    · 光致荧光光谱分析第50-51 页
  · 电化学沉积 ZnO薄膜光致荧光光谱拟合分析第51-53 页
  · 本章小结第53-54 页
结论第54-55 页
参考文献第55-59 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第59-60 页
致谢第60-61 页

本篇论文共61页,点击这进入下载页面
 
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