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超声改变SU-8胶溶胀性的机理及试验研究

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超声改变SU-8胶溶胀性的机理及试验研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-16页
  · UV-LIGA工艺中SU-8胶的溶胀问题第10-12页
  · 减小SU-8胶溶胀的研究现状第12-14页
  · 超声波技术在聚合物中的应用现状第14-15页
  · 课题研究内容第15-16页
2 交联SU-8胶的溶胀机理及测量方法研究第16-21页
  · SU-8胶模的溶胀机理分析第16-19页
    · 聚合物溶胀理论第16-17页
    · 交联SU-8胶分子结构第17-19页
  · 胶模溶胀测量方法第19-20页
  · 本章小结第20-21页
3 超声改变SU-8胶溶胀性的试验研究第21-39页
  · SU-8胶溶胀的超声处理试验第21-28页
    · 试验材料与装置第21-24页
    · 掩膜板的设计第24-25页
    · 试验步骤第25-28页
  · 试验结果与讨论第28-37页
    · 超声对显影过程中SU-8胶模溶胀的影响第28-31页
    · 超声对电铸过程中SU-8胶模溶胀的影响第31-35页
    · 超声对微器件尺寸精度的影响第35-36页
    · SU-8胶模表面接触角分析第36-37页
  · 本章小结第37-39页
4 超声改变SU-8胶溶胀性机理第39-44页
  · SU-8胶亲水性与溶胀的关系第39-41页
  · SU-8胶内应力与溶胀的关系第41-43页
  · 本章小结第43-44页
结论第44-45页
参考文献第45-48页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第48-49页
致谢第49-50页

本篇论文共50页,点击这进入下载页面
 
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