教育论文网

集成光波导微环谐振腔的电光调制特性研究

硕士博士毕业论文站内搜索    
分类1:教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文光电子技术、激光技术论文波导光学与集成光学论文集成光学器件论文
分类2:教育论文网→工业技术论文→无线电电子学、电信技术论文无线通信论文光波通信、激光通信论文
集成光波导微环谐振腔的电光调制特性研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-17页
  1.1 SOI 集成导波光学的发展第11-12页
  · 调制器的国内外研究现状第12-15页
    · 国际研究现状第12-14页
    · 国内研究现状第14-15页
  · 本文的主要研究内容以及创新点第15-17页
第二章 SOI 纳米波导微环谐振腔基本特性分析第17-29页
  · 微环谐振腔基本结构与耦合谐振条件第17-21页
    · 微环谐振腔基本结构第17-18页
    · 倏逝波耦合原理第18-19页
    · 微环形谐振腔性能分析—散射矩阵法第19-21页
  · 谐振腔主要性能参数第21-22页
    · 自由波谱范围第21页
    · 品质因数和精细度第21-22页
    · 有效折射系数第22页
  · 光波导单模态与高光场局域仿真第22-26页
    · 光波导模式第22-24页
    · 光束传输法(BPM)方法简介第24-26页
  · 脊型纳米光波导与微谐振腔的设计仿真分析第26-28页
  · 本章小结第28-29页
第三章 纳米波导微环谐振腔调制器电学结构特性分析第29-40页
  · 光波导调制器件类型第29-30页
    · 热光调制器件第29-30页
    · 电光调制器件第30页
  3.2 SOI 谐振腔电光调制器件基本特性第30-39页
    3.2.1 P-N 结及 P-I-N 结二极管理论第30-32页
    3.2.2 Sentaurus 二极管特性仿真第32-35页
    · 硅半导体材料自由载流子色散效应与折射率关系第35-36页
    · 外电压信号驱动与载流子浓度变化第36-37页
    · 载流子效应引起的微环谐振腔谐振频移第37-39页
  · 本章小结第39-40页
第四章 调制器结构设计与工艺制备第40-56页
  · 调制器总体结构设计与制备流程第40-42页
  · 器件制备中的关键工艺介绍第42-45页
    · 电子束光刻(EBL)第42页
    4.2.2 ICP 等离子刻蚀第42-43页
    · 退火处理第43-44页
    · 离子注入第44-45页
    · 光刻第45页
  4.3 SOI 脊型纳米波导与谐振腔的工艺制备第45-47页
  · 纳米波导微环谐振腔结构的优化后处理第47-49页
  4.5 P-I-N 结构工艺制备的仿真与实现第49-53页
    · 离子注入的仿真分析与设计第49-51页
    4.5.2 芯片级 P-I-N 结离子注入工艺的制备实现第51-53页
  4.6 调制器芯片与外部 PCB 版的互联第53-55页
  · 本章小结第55-56页
第五章 测试平台搭建与调制器结构测试第56-66页
  · 纳米波导谐振腔调制器测试环境与平台搭建第56-57页
  · 调制器件实验测试与结果分析第57-65页
    · 调制器微环谐振腔性能测试第57-59页
    · 调制器件静态特性测试第59-62页
    · 调制器件瞬态特性测试第62-64页
    · 测试参数结果分析第64-65页
  · 本章小结第65-66页
第六章 总结与展望第66-68页
  · 工作总结第66页
  · 下一步工作和未来研究方向第66-68页
参考文献第68-73页
攻读硕士学位期间的研究成果第73-74页
致谢第74 页

本篇论文共74页,点击这进入下载页面
 
更多论文
集成光波导微环谐振腔的电光调制特
一维光子晶体结构的理论研究
基于系统动力学的山西省文化产业发
β-乳球蛋白与表没食子儿茶素没食子
离子液体催化脂肪酸甲酯的清洁制备
Effect of Melt Stirring on Impur
Pricing Switch-Option-Embedded N
The Impact of RMB Appreciation o
The Study on Stocks Characterist
Sentiment and Sports: Impact of
The Effective Use of Classroom G
Hunting Down the Unicorn--On Wil
Mirror Held to Fiction―Barthelm
Fast Scaling Technology in Video
A Probe into Request as a Speech
Applications of Ext Functors
The Numerical Stability of Rosen
A Comparative Analysis of Polite
The Interpersonal Meaning of Per
A Brief Study of Legal English L
Closed θ-invariant Sets on Quas
Some Applications of Runge-Kutta
Dynamics of Linear Multistep Met
Numerical Solutions of Lane-Emde
Robust Designs for Approximately
On Cultivating Intercultural Awa
The Road to the Western Culture
Schemata and Reading
Teaching English Grammar by Appl
On Interlanguage Theory-with Ref
Numerical Dissipativity of Runge
Analytic and Numerical Dissipati
Perspectives on Translation Stud
Women in Competition for the Flo
A Study on Self-regulated Readin
The Dissemination of Hangzhou To
Non-Isotropic Jacobi Pseudospect
The Stability Analysis of Block
Asymptotic Stability Analysis of
Pseudospectral Methods for Delay
Robust Designs and Constrained O
仿像
Asymptotic Stability of Neutral
论罗亭
柳青论
Schema Theory Applied to Teachin
The Numerical Stability Analysis
Continuous Block θ-Methods and
Delay-dependent Stability Analys
Stability of Runge-Kutta Methods
童话论
Jacobi Spectral Method with Esse
Asymptotic Stabiltity of Neutral
Legendre-Gauss-Lobatto Collocati
Chebyshev-Gauss Collocation Meth
The Anti-aging Effect of Tai Chi
逃避--论乔伊斯短篇小说集《都柏林
A Comparative Analysis of Integr
Study on the Metacognitive Abili
An Aesthete in Consumer Society
An Investigation of College Engl
Reverse Cultural Shock in Interc
Progress Through Changes
Register Study and Its Applicati
 
集成光学论文 SoC论文 SOI论文 微环谐振腔论文 电光调制器论文
版权申明:目录由用户魏萍**提供,www.51papers.com仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录请点击这里
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved