多自由度压电执行器驱动的运动平台研究

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多自由度压电执行器驱动的运动平台研究

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多自由度压电执行器驱动的运动平台研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-11页
第一章绪论	第11-17页
· 引言	第11页
· 多自由度超声电机发展概述	第11-13页
· 多自由度运动平台发展概述	第13-15页
· 论文的意义、来源与研究内容	第15-17页
第二章二自由度超声电机的结构设计与研究	第17-30页
· 电机总体结构	第17-20页
· 定子结构	第17-18页
· 模态分析	第18-20页
· 驱动机理及谐响应分析	第20-26页
· 驱动机理	第20-22页
· 谐响应分析	第22-23页
· 定子结构	第23页
· 扫频实验	第23-26页
· 超声电机驱动器	第26-29页
· 小结	第29-30页
第三章堆叠式两维运动平台及相关实验	第30-34页
· 堆叠式两维运动平台结构及原理	第30-31页
· 两自由度运动平台实验	第31-33页
· 不同预紧力下速度实验	第31-32页
· 一定预紧力下牵引力实验	第32-33页
· 小结	第33-34页
第四章单板式两维运动平台整体设计与关键技术	第34-42页
· 二维运动平台整体结构设计	第34-35页
· 整体结构设计	第34-35页
· 材料选择	第35页
· 结构设计中的关键技术	第35-39页
· 导向结构的研究	第35-37页
· 预紧机构的研究	第37-39页
· 二自由度运动平台整体结构	第39-40页
· 速度测量	第40页
· 小结	第40-42页
第五章单板式两维运动平台检测系统与相关实验	第42-55页
5.1 光电位置传感器件 PSD	第42-47页
5.1.1 PSD 器件的结构与工作原理	第42-44页
5.1.2 一维 PSD 器件	第44页
5.1.3 二维 PSD 器件	第44-46页
5.1.4 PSD 的主要特性	第46-47页
5.2 PSD 标定	第47-51页
· 两维运动平台试验	第51-53页
· 轴向方向测量试验	第51-53页
5.3.2 x、y 联动的测量试验	第53页
· 小结	第53-55页
第六章总结与展望	第55-57页
· 本文的主要贡献	第55-56页
· 课题的进一步研究方向	第56-57页
参考文献	第57-61页
致谢	第61-62页
在学期间的研究成果及发表的学术论文	第62-63页
附录	第63 页

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