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基于模拟退火算法的接近式紫外光刻误差修正的研究
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基于模拟退火算法的接近式紫外光刻误差修正的研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-6 页
目录第6-8 页
第1章 序言第8-20 页
　　· 微型机电系统第8 页
　　　　· MEMS 的工艺基础第8 页
　　· LIGA 技术和UV-LIGA 技术第8-13 页
　　　　· UV-LIGA 的工艺过程第9-11 页
　　　　· UV-LIGA 技术的应用第11-13 页
　　· 光刻技术第13-14 页
　　　　· 光刻分类第13-14 页
　　· 接近式光刻的误差修正第14-17 页
　　　　· 光学邻近效应第14-15 页
　　　　· 光学邻近修正方法第15-16 页
　　　　· 反向光刻技术第16-17 页
　　· 本文完成的主要工作第17-18 页
　　参考文献第18-20 页
第2章 模拟退火算法理论基础与模型第20-37 页
　　· 模拟退火算法第20-23 页
　　　　· 基本原理第21-23 页
　　　　· 模拟退火算法的特点及应用第23 页
　　· 基于模拟退火算法的逆向修正第23-35 页
　　　　· 理论分析第23-26 页
　　　　· 光刻模型的建立第26-28 页
　　　　· 修正实例一第28-33 页
　　　　· 修正实例二第33-35 页
　　· 本章小结第35-36 页
　　参考文献第36-37 页
第3章 掩模有效影响区域的选取第37-46 页
　　· 掩模平面波前对场点的作用规律第37-42 页
　　　　· 掩模图形有效波前的分割第37-41 页
　　　　· 圆孔的半波带分析方法第41-42 页
　　· 理论分析结果与实验验证第42-44 页
　　　　· 最有效的影响范围第42-43 页
　　　　· 直角特征的光刻畸变分析第43-44 页
　　· 本章小结第44-45 页
　　参考文献第45-46 页
第4章 掩模图形的修正第46-54 页
　　· 直角特征图形的修正第46-48 页
　　· 圆弧特征图形的修正第48-51 页
　　· 本章小结第51-52 页
　　参考文献第52-54 页
第5章 总结和展望第54-58 页
　　· 总结第54-55 页
　　· 展望第55-56 页
　　参考文献第56-58 页
攻读硕士期间发表的论文第58-59 页
致谢第59页

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