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新型双级解耦微机械陀螺的电场及压电耦合特性研究
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新型双级解耦微机械陀螺的电场及压电耦合特性研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
Abstract第6-7 页
致谢第7-11 页
第一章 绪论第11-20 页
　　· 微机电系统（MEMS）的概念和发展概况第11-13 页
　　· 微机械陀螺的技术分类及发展概况第13-15 页
　　· 微机械陀螺的动力学及多场耦合问题第15-18 页
　　　　· 动力学第15-17 页
　　　　· 多场耦合问题第17-18 页
　　· 本文的主要内容第18-20 页
第二章 MEMS 动力学理论第20-25 页
　　· 典型微驱动机构第20-21 页
　　· 微驱动基本原理第21-24 页
　　　　· 静电力驱动第22-23 页
　　　　· 静电力的尺度效应第23-24 页
　　· 本章小结第24-25 页
第三章 静电驱动 MEMS 动力学第25-30 页
　　· 静电场基本理论第25-27 页
　　· 梳妆电极结构驱动方式第27-28 页
　　· 梳妆电极结构静电力第28-29 页
　　· 本章小结第29-30 页
第四章 双级解耦微机械陀螺设计及其动力学分析第30-44 页
　　· 新型 MEMS 的简介第30-32 页
　　　　· 双级解耦微机械陀螺结构的初步设计第30-31 页
　　　　· 驱动部分的结构设计第31-32 页
　　· 静电场的软件分析第32-40 页
　　　　· 单组梳齿分析第32-36 页
　　　　· 双组梳齿分析第36-40 页
　　· 移动梳齿在各位置的电势和静电力情况第40-42 页
　　· 电势对静电力影响第42-43 页
　　· 本章小结第43-44 页
第五章 静电驱动 MEMS 动力学分析第44-49 页
　　· 系统动力学模型第44-45 页
　　· 陀螺瞬态动力学分析概述第45-48 页
　　　　· 建立模型及定义材料常数第46-47 页
　　　　· 有限元网格的划分第47-48 页
　　· 本章小结第48-49 页
第六章 耦合场分析第49-58 页
　　· 耦合场概念第49-50 页
　　　　· 耦合场分析定义第49 页
　　　　· 耦合场分析类型第49-50 页
　　　　· 耦合场分析方法第50 页
　　· MEMS 多能量场耦合分析理论第50-53 页
　　· 新型微机械陀螺仪序贯耦合分析第53-57 页
　　· 本章小结第57-58 页
第七章 总结与展望第58-60 页
　　· 本文的主要工作小结第58 页
　　· 进一步的研究工作展望第58-60 页
参考文献第60-63 页
硕士期间发表论文第63-64页

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