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稳定可靠p型ZnO薄膜的制备与光电性能研究
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稳定可靠p型ZnO薄膜的制备与光电性能研究
论文目录
摘要
第1-5 页
Abstract
第5-9 页
引言
第9-10 页
1 绪论
第10-22 页
· ZnO材料的结构和基本特性
第10-13 页
· ZnO的结构
第10-11 页
· ZnO材料的基本特性
第11-13 页
· ZnO薄膜掺杂及器件研究进展
第13-18 页
· ZnO薄膜的主要生长方法
第13-15 页
· ZnO薄膜p型掺杂的研究进展
第15-16 页
· ZnO器件的研究进展
第16-18 页
· ZnO材料的应用前景
第18-21 页
· ZnO压电方面的应用
第18 页
· 与GaN互作缓冲层
第18-19 页
· 制作紫外光探测器
第19 页
· ZnOLED和LD
第19-20 页
· 透明电极及太阳能电池
第20 页
· 制作表面声波器件
第20-21 页
· 本论文的主要研究内容
第21-22 页
2 材料的制备与相关测试方法
第22-32 页
· ZnO薄膜的制备方法
第22-27 页
· 超声喷雾热分解法
第22-23 页
· 金属有机化学气相沉积(MOCVD)
第23-27 页
· 测试方法
第27-32 页
· Hall效应测试
第27-29 页
· 光致发光谱(PL)测试
第29 页
· X射线衍射(XRD)
第29-30 页
· 透射光谱
第30-31 页
· 扫描电子显微镜(SEM)
第31-32 页
3 p型ZnO的超声喷雾热分解法制备与光电性能研究
第32-43 页
· 引言
第32-33 页
· 薄膜生长方法的选择
第32 页
· 衬底的选择
第32 页
· 掺杂元素的选择
第32-33 页
· USP法前驱体溶液的热分解过程与薄膜沉积模式
第33-35 页
· 银掺杂p-型ZnO薄膜的晶体结构和光电性能
第35-38 页
· 氮-银共掺杂p型ZnO薄膜的晶体结构和光电性能
第38-41 页
· 小结
第41-43 页
结论
第43-44 页
参考文献
第44-49 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第49-50 页
致谢
第50-51 页
本篇论文共
51
页,
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