溅射离子泵DC-DC特种高压电源的设计

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溅射离子泵DC-DC特种高压电源的设计

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溅射离子泵DC-DC特种高压电源的设计

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第1章绪论	第8-14页
· 氢钟电源的结构	第8-9页
· 溅射离子泵电源的现状	第9-12页
· 电阻分压式电源	第9-10页
· 漏磁变压器式电源	第10-12页
· 高频开关式离子泵电源	第12-13页
· 本文的研究内容和意义	第13-14页
· 本文的研究内容	第13页
· 本文的主要意义	第13-14页
第2章溅射离子泵的工作原理及泵电源的特殊性	第14-24页
· 溅射离子泵的结构及工作原理	第14-19页
· 溅射离子泵的结构	第14-15页
· 溅射离子泵的抽气机理	第15-16页
· 离子泵的极限压强	第16-17页
· 离子泵的抽速	第17-18页
· 真空度与电流的关系	第18-19页
· 常见的电源输出特性	第19-20页
· 离子泵电源的特殊性	第20-22页
· 离子泵电源设计框图	第22-24页
第3章溅射离子泵负阻性开关电源的研制	第24-65页
· 常用隔离式DC/DC开关电源的拓扑结构	第24-27页
· 单端反激变换器	第25页
· 单端正激变换器	第25-26页
· 双晶正激变换器	第26页
· 半桥变换器	第26页
· 全桥变换器	第26页
· 推挽变换器	第26-27页
· 推挽变换器的工作原理	第27-29页
· 偏磁的可能性及预防措施	第29-32页
· 电源主控芯片TL494(PWM)简介	第32-34页
· TL494的特性	第32页
· 工作原理概述	第32-34页
· 溅射离子泵电源功率主电路的设计	第34-53页
· 变压器的设计	第35-37页
· 开关驱动电路及缓冲电路的设计	第37-42页
· 输出滤波器的设计	第42-45页
· 输入滤波器的设计	第45-51页
· 高压电路的安全规范设计	第51-53页
· 溅射离子泵电源控制电路的设计	第53-65页
· 线性光耦电路的设计	第53-56页
· 反馈环路稳定性设计	第56-63页
· 软启动和过压过流保护电路的设计	第63-65页
第4章实验结果及比较	第65-76页
· 实测数据	第65-72页
· 24V输入时的实测输出特性	第65-68页
· 不同输入电压下的输出特性	第68-69页
· 兼容性测试	第69-72页
· 电源的实际使用	第72页
· 与其它两种电源的比较	第72-76页
· 输出特性比较	第72-74页
· 输出纹波比较	第74-76页
第5章总结和展望	第76-81页
· 存在的问题	第76-77页
· 展望	第77-81页
附录 A 电路原理图和电源实物图	第81-84页
附录 B 个人简历及发表论文	第84 页

本篇论文共84页，点击这进入下载页面。

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