基于硅衬底的新型射频微机械开关

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基于硅衬底的新型射频微机械开关

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基于硅衬底的新型射频微机械开关

论文目录
摘要	第1-6 页
第一章引言	第6-20 页
· 微电子机械系统	第6-8 页
· 微加工技术	第8-11 页
· 体硅微机械加工技术(Bulk Micromachining)	第8-9 页
· 表面硅微机械加工技术(Surface Micromachining)	第9-10 页
· 成型技术(Molding)	第10-11 页
· MEMS封装技术(MEMS Packaging)	第11 页
· 微机械射频开关	第11-17 页
· 与传统射频开关技术的比较	第11-12 页
· 悬臂梁型微机械开关	第12-14 页
· 薄膜型微机械开关	第14-15 页
· 旋转型微机械开关	第15-16 页
· 平板型微机械开关	第16-17 页
· 本篇论文主要研究内容	第17 页
参考文献	第17-20 页
第二章微机械射频开关方针和结构设计	第20-38 页
· 射频开关的电学性质分析	第20-27 页
· 射频开关的有关参数	第20-22 页
· 微带线	第22 页
· 共面波导	第22-23 页
· 衬底的选择	第23 页
· 导体的选择	第23-24 页
· 插入损耗的分析	第24-27 页
· 射频开关的力学模型分析	第27-33 页
· 新结构的提出	第33-34 页
· 新结构的确定	第34-37 页
· 本章小结	第37-38 页
第三章微机械射频开关的制作和测试	第38-52 页
· 微机械射频开关的工艺设计	第38-46 页
· 剥离技术	第38 页
· 离子束腐蚀技术	第38 页
· 牺牲层技术	第38-39 页
· 微机械开关制作工艺流程的设计	第39-43 页
· 微机械开关版图设计	第43-46 页
· 开关制作结果	第46-47 页
· 制作过程中出现的问题及解决	第47-48 页
· 牺牲层的填充	第47 页
· 薄膜平整度的改进	第47-48 页
· 实验装置及测试结果	第48-50 页
· 器件性能测试结果	第48-49 页
· 测试结果讨论	第49-50 页
· 本章小结	第50-52 页
第四章展望	第52-54 页
· 本论文工作的主要内容	第52 页
· 对进一步研究工作的展望	第52-54 页
作者简介	第54 页
硕士期间发表论文及申请的专利	第54-55 页
致谢	第55-56 页

本篇论文共56页，点击这进入下载页面。

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