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熔融态冶金级硅中杂质的挥发去除行为研究

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熔融态冶金级硅中杂质的挥发去除行为研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
引言第9-11页
1 绪论第11-29页
  · 立题背景第11-12页
  · 多晶硅材料的制备工艺第12-24页
    · 多晶硅材料传统制备工艺第13-16页
    · 多晶硅材料新制备工艺第16-24页
  · 真空熔炼第24-28页
    · 冶金硅中的挥发性元素第24-26页
    · 真空熔炼的应用及有待解决的问题第26-28页
  · 本论文研究的主要目的及内容第28-29页
2 真空熔炼实验第29-47页
  · 真空熔炼实验原理第29-32页
    · 真空熔炼热力学第29-30页
    · 真空熔炼动力学第30-32页
  · 实验设备与实验方法第32-37页
    · 实验设备第32-34页
    · 实验方法第34-37页
  · 实验结果与讨论第37-46页
    · 硅中杂质含量的变化第37-40页
    · 硅中杂质的去除速率第40-44页
    · 硅的挥发第44-46页
  · 本章小结第46-47页
3 低压熔炼实验第47-54页
  · 引言第47页
  · 实验方法第47-48页
  · 实验结果与讨论第48-52页
    · 硅中杂质含量的变化第48-50页
    · 硅中P的去除速率及与真空熔炼条件下的比较第50-51页
    · 不同压力环境下杂质去除速率的控制步骤第51-52页
  · 本章小结第52-54页
4 电子束熔炼实验第54-63页
  · 引言第54页
  · 电子束技术第54-56页
    · 电子束技术在工业领域的应用第54-55页
    · 电子束熔炼第55-56页
  · 实验设备与实验方法第56-58页
    · 实验设备第56-57页
    · 实验方法第57-58页
  · 实验结果与讨论第58-61页
    · 熔炼温度估算第58-59页
    · 硅中P含量的变化第59-60页
    · 硅中P的去除速率第60-61页
  · 本章小结第61-63页
结论第63-64页
参考文献第64-68页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第68-69页
致谢第69-71 页

本篇论文共71页,点击这进入下载页面
 
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