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SiO2/SiC界面悬挂键及其钝化的第一原理研究
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SiO2/SiC界面悬挂键及其钝化的第一原理研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-9 页
1 绪论第9-17 页
　　· 课题研究的背景及意义第9-10 页
　　· 界面态的国内外研究状况第10-15 页
　　· 论文的研究思想和内容第15-17 页
2 SiO_2/SiC界面特性及改性工艺第17-22 页
　　· SiO_2/SiC的界面缺陷起源第17-19 页
　　　　· 近界面缺陷第18 页
　　　　· 碳团簇第18 页
　　　　· 悬挂键第18-19 页
　　· SiO_2/SiC的界面处理工艺第19-21 页
　　　　· H气氛退火第19-20 页
　　　　· N钝化技术第20 页
　　　　· P气氛退火第20-21 页
　　· 本章小结第21-22 页
3 研究方法第22-37 页
　　· 密度泛函理论第22-29 页
　　　　· Hohenberg-Kohn定理第23-25 页
　　　　· Kohn-Sham方程第25-27 页
　　　　· 局域密度近似(LDA)第27-28 页
　　　　· 广义梯度近似(GGA)第28-29 页
　　· CASTEP量子计算程序包第29-36 页
　　　　· 超级胞理论(supercell theory)第30-31 页
　　　　· 平面波理论第31-32 页
　　　　· 超软赝势理论第32-34 页
　　　　· 自洽迭代与电荷密度混合第34-36 页
　　· 本章小结第36-37 页
4 4H-SiC界面悬挂键钝化模型第37-46 页
　　· 表面结构第37-40 页
　　　　· 表面二维结构第38-39 页
　　　　· 表面特性第39-40 页
　　· 计算模型的构建第40-43 页
　　　　· 表面模型第40-42 页
　　　　· SiC表面吸附模型第42-43 页
　　· 计算参数选择第43-45 页
　　　　· 交换关联泛函的选择第43-44 页
　　　　· 平面波展开截断能第44-45 页
　　　　· K空间网格取样密度第45 页
　　· 本章小结第45-46 页
5 SiO_2/SiC界面悬挂键及其钝化分析第46-56 页
　　· SiO_2/SiC界面悬挂键第46-48 页
　　　　· 4H-SiC-(0001)Si面结构第46 页
　　　　· 4H-SiC-(0001)Si面电子结构第46-48 页
　　· 界面悬挂键钝化分析第48-55 页
　　　　· 吸附能及体系电子结构第48 页
　　　　· 氢钝化悬挂键分析第48-50 页
　　　　· 氮钝化悬挂键分析第50-53 页
　　　　· 磷钝化悬挂键分析第53-55 页
　　· 本章小结第55-56 页
结论第56-57 页
参考文献第57-61 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第61-63 页
致谢第63-64 页

本篇论文共64页，点击这进入下载页面。
 
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