论文目录 | |
| 摘要 | 第1-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 铌酸锂波导的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 波导光栅的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.4 论文的主要内容和章节安排 | 第12-14页 |
| 第二章 铌酸锂光波导与布拉格光栅基本理论 | 第14-26页 |
| 2.1 铌酸锂光波导分析 | 第14-18页 |
| 2.1.1 铌酸锂光波导折射率分布 | 第14-16页 |
| 2.1.2 铌酸锂光波导模式分析 | 第16-18页 |
| 2.2 波导光栅理论分析 | 第18-24页 |
| 2.2.1 耦合模理论 | 第18-21页 |
| 2.2.2 布拉格波导光栅耦合模理论 | 第21-23页 |
| 2.2.3 高阶布拉格波导光栅工作原理 | 第23-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-26页 |
| 第三章 器件仿真与设计 | 第26-40页 |
| 3.1 器件的结构 | 第26-27页 |
| 3.2 单模铌酸锂波导设计 | 第27-30页 |
| 3.2.1 有效折射率法分析模式折射率 | 第27-28页 |
| 3.2.2 有限元法分析模式折射率 | 第28-29页 |
| 3.2.3 单模铌酸锂波导结构 | 第29-30页 |
| 3.3 高阶布拉格光栅设计与分析 | 第30-38页 |
| 3.3.1 一次交换法制备高阶布拉格光栅的设计与仿真结果 | 第30-33页 |
| 3.3.2 二次交换法制备高阶布拉格光栅的设计与仿真结果 | 第33-36页 |
| 3.3.3 ICP刻蚀法制备高阶布拉格光栅的设计与仿真结果 | 第36-38页 |
| 3.4 电光调谐电极设计 | 第38页 |
| 3.5 器件整体设计参数 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 器件的制作 | 第40-53页 |
| 4.1 器件的制作工艺简介 | 第40-41页 |
| 4.2 掩模版设计 | 第41-43页 |
| 4.3 器件的制作 | 第43-52页 |
| 4.3.1 铌酸锂波导的制作流程 | 第44-47页 |
| 4.3.2 一次交换法制备高阶布拉格光栅的制作流程 | 第47-48页 |
| 4.3.3 二次交换法制备高阶布拉格光栅的制作流程 | 第48-49页 |
| 4.3.4 ICP刻蚀法制备高阶布拉格光栅的制作流程 | 第49-50页 |
| 4.3.5 电光调谐电极的制作流程 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 器件测试与分析 | 第53-64页 |
| 5.1 测试平台简介 | 第53-54页 |
| 5.2 一次交换法制备高阶布拉格光栅的测试与分析 | 第51-56页 |
| 5.3 二次交换法制备高阶布拉格光栅的测试与分析 | 第56-62页 |
| 5.3.1 传输光谱测试 | 第56-58页 |
| 5.3.2 电光调谐特性测试 | 第58-61页 |
| 5.3.3 退火调谐特性测试 | 第61-62页 |
| 5.4 ICP刻蚀法制备高阶布拉格光栅的测试与分析 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 全文总结 | 第64-65页 |
| 6.2 工作展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第70页 |
