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柔性可弯曲的钛酸钡阻变存储器件研究

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柔性可弯曲的钛酸钡阻变存储器件研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-23页
  1.1 引言第10页
  1.2 阻变存储器概述第10-19页
    1.2.1 阻变存储器的发展第11-12页
    1.2.2 阻变存储器的体系第12-14页
    1.2.3 阻变行为分类及主要参数第14-16页
    1.2.4 阻变存储器工作机理第16-19页
  1.3 柔性电子器件的研究与发展第19-21页
  1.4 基于钛酸钡薄膜的阻变存储器研究进展第21-22页
  1.5 课题的目的和意义第22-23页
2 阻变存储器件的制备工艺及测试表征方法第23-32页
  2.1 脉冲激光沉积技术第23-24页
  2.2 阻变存储器件主要表征方法第24-28页
    2.2.1 X射线衍射技术第24-25页
    2.2.2 原子力显微技术第25-27页
    2.2.3 透射电子显微技术第27-28页
  2.3 阻变存储器件制备工艺及性能测试方法第28-32页
    2.3.1 阻变存储器件制备工艺第28页
    2.3.2 阻变存储器件光学性能测试方法第28-29页
    2.3.3 阻变存储器件电学性能测试方法第29-32页
3 平整状态下SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的制备与阻变特性研究第32-54页
  3.1 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.0)5O_3/Au阻变器件的制备第32-44页
    3.1.1 陶瓷靶材的制备与相结构表征第32-34页
    3.1.2 柔性衬底的制备与表面形貌表征第34-37页
    3.1.3 SrRuO_3底电极制备与性能分析第37-40页
    3.1.4 BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3薄膜制备与性能分析第40-44页
  3.2 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的微观结构表征第44-45页
  3.3 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的光学性能分析第45-46页
  3.4 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的阻变特性分析第46-52页
    3.4.1 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的电学性能分析第46-48页
    3.4.2 SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的阻变机理分析第48-51页
    3.4.3 BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3薄膜厚度对阻变器件电学性能影响第51-52页
  3.5 本章小结第52-54页
4 不同外界条件下的柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件性能研究第54-64页
  4.1 弯曲状态下SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的表面形貌表征第54-55页
  4.2 弯曲对柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件的影响第55-59页
    4.2.1 不同弯曲半径对SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响第55-57页
    4.2.2 不同弯曲次数对SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响第57-58页
    4.2.3 薄膜折叠对SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响第58-59页
  4.3 不同环境温度对柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响第59-61页
  4.4 不同光照强度对柔性SrRuO_3/BaTi_(0.95)Co_(0.05)O_3/Au阻变器件阻变性能影响第61-63页
  4.5 本章小结第63-64页
5 结论与展望第64-66页
  5.1 结论第64页
  5.2 展望第64-66页
致谢第66-67页
参考文献第67-78页
附录第78页

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