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MEMS电磁驱动器的理论分析与实验研究

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MEMS电磁驱动器的理论分析与实验研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 引言第10-31页
  1.1 微机电系统(MEMS)简介第11-18页
    1.1.1 微机电系统的相关制造技术第12-16页
    1.1.2 微机电系统的应用第16-18页
  1.2 微驱动器的研究现状第18-26页
  1.3 本课题的研究意义和主要研究内容第26-28页
参考文献第28-31页
第二章 驱动器的理论分析与建模第31-53页
  2.1 微驱动器的结构原理第32-34页
  2.2 电磁机理分析第34-51页
    2.2.1 磁路定理第35-38页
    2.2.2 传统磁路模型的静态分析第38-40页
    2.2.3 磁动势动态分布模型第40-45页
    2.2.4 B-H曲线的拟合第45-48页
    2.2.5 两种模型的比较第48-51页
  2.3 本章小结第51-52页
参考文献第52-53页
第三章 微电磁驱动器的制作与装配第53-69页
  3.1 MEMS基本工艺介绍第53-59页
    3.1.1 光刻第53-54页
    3.1.2 溅射第54-55页
    3.1.3 电镀第55-56页
    3.1.4 干法刻蚀第56-57页
    3.1.5 湿法刻蚀第57-59页
  3.2 平面线圈的制作第59-64页
    3.2.1 平面线圈的制作工艺流程第59-61页
    3.2.2 聚酰亚胺绝缘层的制作第61-64页
  3.3 铜弹性平台的制作第64-66页
  3.4 中央硅垫片的制作第66-67页
  3.5 本章小结第67-68页
参考文献第68-69页
第四章 器件的驱动性能测试第69-73页
  4.1 驱动器的驱动性能测试第69-72页
    4.1.1 铜平台行程测试第69-71页
    4.1.2 铜弹簧弹性系数的测试第71页
    4.1.3 磁路模型的验证第71-72页
  4.2 本章小结第72-73页
第五章 总结与展望第73-75页
附录第75-88页
致谢第88-89页
攻读学位期间发表的学术论文第89页

本篇论文共89页,点击这进入下载页面
 
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