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MEMS电磁驱动器的理论分析与实验研究
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MEMS电磁驱动器的理论分析与实验研究
论文目录
摘要
第1-6页
ABSTRACT
第6-10页
第一章 引言
第10-31页
1.1 微机电系统(MEMS)简介
第11-18页
1.1.1 微机电系统的相关制造技术
第12-16页
1.1.2 微机电系统的应用
第16-18页
1.2 微驱动器的研究现状
第18-26页
1.3 本课题的研究意义和主要研究内容
第26-28页
参考文献
第28-31页
第二章 驱动器的理论分析与建模
第31-53页
2.1 微驱动器的结构原理
第32-34页
2.2 电磁机理分析
第34-51页
2.2.1 磁路定理
第35-38页
2.2.2 传统磁路模型的静态分析
第38-40页
2.2.3 磁动势动态分布模型
第40-45页
2.2.4 B-H曲线的拟合
第45-48页
2.2.5 两种模型的比较
第48-51页
2.3 本章小结
第51-52页
参考文献
第52-53页
第三章 微电磁驱动器的制作与装配
第53-69页
3.1 MEMS基本工艺介绍
第53-59页
3.1.1 光刻
第53-54页
3.1.2 溅射
第54-55页
3.1.3 电镀
第55-56页
3.1.4 干法刻蚀
第56-57页
3.1.5 湿法刻蚀
第57-59页
3.2 平面线圈的制作
第59-64页
3.2.1 平面线圈的制作工艺流程
第59-61页
3.2.2 聚酰亚胺绝缘层的制作
第61-64页
3.3 铜弹性平台的制作
第64-66页
3.4 中央硅垫片的制作
第66-67页
3.5 本章小结
第67-68页
参考文献
第68-69页
第四章 器件的驱动性能测试
第69-73页
4.1 驱动器的驱动性能测试
第69-72页
4.1.1 铜平台行程测试
第69-71页
4.1.2 铜弹簧弹性系数的测试
第71页
4.1.3 磁路模型的验证
第71-72页
4.2 本章小结
第72-73页
第五章 总结与展望
第73-75页
附录
第75-88页
致谢
第88-89页
攻读学位期间发表的学术论文
第89页
本篇论文共
89
页,
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。
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