基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的设计

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基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的设计

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基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的设计

论文目录
摘要	第1-6 页
Abstract	第6-7 页
致谢	第7-13 页
第一章绪论	第13-21 页
· 引言	第13 页
· 扫描探针显微镜（SPM）的工作原理及其特点	第13-17 页
· SPM 的发展及其工作原理	第13-15 页
· 原子力显微镜（AFM）的特点及其应用	第15-16 页
· AFM 的几种工作模式及其特点	第16-17 页
· 原子力显微镜（AFM）的发展现状及局限性	第17-18 页
· 课题来源及研究内容	第18-21 页
· 课题来源	第18-19 页
· 研究内容	第19-21 页
第二章基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的系统结构	第21-24 页
· 系统整体的工作原理	第21 页
· 系统设计目标和要求	第21-22 页
· 系统设计方案及其结构框图	第22-24 页
第三章基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的主体设计	第24-34 页
· 基座设计	第24-28 页
· 三维压电陶瓷扫描器设计	第24-26 页
· 探针-样品逼近系统	第26-28 页
· 测头设计	第28-34 页
· 探针微悬臂变形检测系统	第28-30 页
· 激光光路调整机构和光路设计	第30-34 页
第四章轻敲式探针励振单元	第34-41 页
· 基于DDS 的轻敲式探针励振方法	第34-35 页
· 基于AD9833 的轻敲式探针励振单元设计	第35-38 页
· 轻敲式探针励振单元的基本原理	第35-36 页
· 基于AD9833 的轻敲式探针励振电路设计	第36-37 页
· 轻敲式探针励振单元软件设计	第37-38 页
· 基于AD9833 的轻敲式探针励振电路性能测试	第38-41 页
· 励振电路输出频率特性	第38-40 页
· 励振电路的驱动能力	第40-41 页
第五章控制信号的检测、处理和采集	第41-48 页
· 四象限光电检测单元	第41-43 页
· 电压信号处理电路	第43-46 页
· 电压信号和差运算电路	第43-44 页
· 接触模式低通滤波电路	第44-45 页
· RMS-DC 转换电路和轻敲模式低通滤波电路	第45-46 页
· 直流电压信号的采集	第46-48 页
第六章系统调试和性能评价	第48-57 页
· 系统总体结构实物图	第48-49 页
· 系统关键结构调试方法	第49-52 页
· 激光光斑位置和四象限器接收位置的调整	第49-51 页
· 微悬臂探针的选择和安装	第51-52 页
· 系统噪声测试	第52-54 页
· NI PCI-6229 采集卡噪声测试	第52-53 页
· 电压信号处理电路噪声测试	第53-54 页
· 探针反射光强信号测试	第54-55 页
· 系统频率响应测试	第55-57 页
第七章总结与展望	第57-59 页
· 研究总结	第57-58 页
· 存在的问题及工作展望	第58-59 页
参考文献	第59-62 页
攻读硕士学位期间研究成果	第62-63页

本篇论文共63页，点击这进入下载页面。

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