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Linnik型白光显微干涉光谱测量系统与方法研究

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Linnik型白光显微干涉光谱测量系统与方法研究
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-10页
第一章 绪论第10-17页
  1.1 微纳米技术现状第10-12页
    1.1.1 超精密加工第11页
    1.1.2 薄膜技术第11-12页
  1.2 微纳检测技术第12-14页
    1.2.1 非光学几何量检测第13页
    1.2.2 光学几何量检测第13-14页
  1.3 白光干涉光谱测量第14-15页
  1.4 论文主要内容第15-17页
第二章 白光光谱干涉基本理论第17-24页
  2.1 白光干涉基本原理第17-20页
    2.1.1 白光干涉特性第17-18页
    2.1.2 条纹可见度第18-19页
    2.1.3 基本显微干涉模型第19-20页
  2.2 干涉的相干性理论第20-21页
  2.3 测量绝对距离与薄膜特性第21-24页
第三章 系统的设计与构建第24-42页
  3.1 系统整体设计第24-26页
  3.2 系统硬件构成第26-36页
    3.2.1 运动和机械支撑部分第26-28页
    3.2.2 光学干涉模块第28-31页
    3.2.3 成像和信号采集部分第31-36页
    3.2.4 系统总体搭建安装第36页
  3.3 系统的软件程序第36-42页
    3.3.1 系统硬件控制程序第36-39页
    3.3.2 数据处理软件程序第39-42页
第四章 白光显微干涉光谱数据处理第42-64页
  4.1 相位提取算法第42-46页
    4.1.1 傅立叶变换第42-43页
    4.1.2 时间相移第43-46页
  4.2 相位提取方法比较第46-50页
    4.2.1 对仿真信号的处理第47-49页
    4.2.2 时间相移步数的选择第49-50页
  4.3 系统非线性相位分析第50-60页
    4.3.1 Michelson结构测量非薄膜结构第50-56页
    4.3.2 Linnik结构测量非薄膜结构第56-60页
    4.3.3 Linnik结构测量薄膜结构第60页
  4.4 薄膜初值预估与局部优化算法第60-64页
    4.4.1 基于非线性相位频率的初值预估理论第61-63页
    4.4.2 局部优化算法的选择第63-64页
第五章 实验结果与分析第64-72页
  5.1 系统稳定性第64-66页
    5.1.1 光源稳定性第64-65页
    5.1.2 温度稳定性第65-66页
  5.2 实验结果分析第66-72页
    5.2.1 绝对距离测量第66-68页
    5.2.2 薄膜厚度测量第68-72页
第六章 总结与展望第72-74页
参考文献第74-77页
发表论文和参加科研情况说明第77-78页
致谢第78-79页

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