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利用荧光技术对SiO2胶体流动性能的实验研究

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利用荧光技术对SiO2胶体流动性能的实验研究
论文目录
 
第1章 引言第1-21 页
  · 研究背景第8-9 页
  · CMP研究现状第9-14 页
    · CMP技术第9-10 页
    · CMP机理研究进展第10-12 页
    · CMP存在的问题第12-14 页
  · 测量方法研究进展第14-20 页
    · 光干涉方法第14 页
    · 光学层析方法第14-15 页
    · 双光子激发方法[44,第15-16 页
    · 激发双波长方法第16-17 页
    · 荧光测量研究第17-20 页
  · 本文主要工作第20-21 页
第2章 荧光技术的基本原理第21-26 页
  · 荧光辐射基本原理第21-22 页
    · 荧光辐射第21-22 页
    · 荧光特征第22 页
  · 荧光测量基本原理第22-24 页
    · 光的吸收第22-23 页
    · 荧光测厚模型第23-24 页
  · 荧光测量厚度的主要影响因素第24-25 页
    · 基体反射率对荧光强度的影响第24-25 页
    · 荧光添加物浓度对荧光强度的影响第25 页
  · 本章小结第25-26 页
第3章 荧光素钠在SIO2胶体中的荧光研究第26-34 页
  · 荧光添加物的选择原则第26-27 页
  · 荧光素钠胶体溶液性能测试第27-28 页
    · 荧光素钠第27 页
    · 胶体第27 页
    · 实验过程第27-28 页
  · 实验结果第28-31 页
    · 荧光素钠胶体溶液的荧光特性第28-31 页
    · 溶液的粘度第31 页
    · 溶液表面张力第31 页
    · 折射率的测量第31 页
  · 实验结果分析第31-33 页
    · 光谱特性分析第31-32 页
    · 峰位变化分析第32-33 页
  · 本章小结第33-34 页
第4章 实验装置及图象处理第34-41 页
  · 测试装置第34-37 页
    · 总体结构第34-35 页
    · 光路布置第35 页
    · 传动系统第35-36 页
    · 摩擦副调节第36 页
    · 光学系统第36-37 页
    · 图象的采集第37 页
  · 图象处理第37-38 页
    · 图象复原第37 页
    · 图象处理第37-38 页
  · 系统标定第38-40 页
    · 标定原理第38 页
    · 光源标定第38-39 页
    · 直尺图像第39 页
    · 标定曲线第39-40 页
  · 本章小结第40-41 页
第5章 二氧化硅胶体流动特性的研究第41-70 页
  · 总体特征第41 页
  · 定量流体运动第41-55 页
    · 抛光垫转动第42-43 页
    · 玻璃盘转动第43-47 页
    · 抛光垫和玻璃盘转动第47-48 页
    · 流体变化第48-50 页
    · 分析第50-55 页
  · 流动流体运动第55-63 页
    · 静止状态注入第55-57 页
    · 玻璃盘转动第57-60 页
    · 抛光垫和玻璃盘转动第60-61 页
    · 分析第61-63 页
  · 液体厚度变化第63-68 页
    · 旋转运动时SiO2 胶体的厚度变化第63-65 页
    · 油转动现象第65-66 页
    · 抛光垫转动时液体的压力分布第66-67 页
    · 分析第67-68 页
  · 结论第68-70 页
第6章 结论与展望第70-72 页
  · 本文的工作第70-71 页
  · 对今后工作的展望第71-72 页
参考文献第72-77 页
致谢、声明第77-78 页
个人简历、研究成果第78页

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