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金属有机化学气相沉积法制备功能梯度材料的方法和机理的研究

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金属有机化学气相沉积法制备功能梯度材料的方法和机理的研究
论文目录
 
目录第1-4 页
中文摘要第4-8 页
第一篇 引言第8-20 页
  1 功能梯度材料的研究进展第8-14 页
  2 化学气相沉积(CVD)和金属有机气相沉积(MOCVD)的研究和发展第14-16 页
  3 Fe(CO)_5、Mo(CO)_6化学气相沉积的成膜机制和成膜最佳工艺条件第16 页
  4 本文研究的主要内容、目的和意义第16-18 页
  5 本项研究采用的实验装置和工艺流程第18-20 页
第二篇 化学气相沉积(CVD)法制备SiO_2薄膜工艺条件的研究第20-26 页
  1 工艺过程及膜的制备第20-22 页
    · 样品的制备第20 页
    · 薄膜的表征第20-22 页
  2 不同实验条件对SiO_2薄膜沉积速率的影响第22-25 页
    · 正硅酸乙酯的热力学性质与成核机理第22-23 页
    · 基片温度对TEOS气相沉积膜结构的影响第23-24 页
    · TEOS温度对SiO_2膜沉积速率的影响第24-25 页
    · 沉积时间对SiO_2膜沉积速率的影响第25 页
    · SiO_2膜的物相、元素成分和显微结构第25 页
  3 本篇小结第25-26 页
第三篇 MOCVD法制备Fe/Mo功能梯度材料的研究第26-35 页
  1 功能梯度材料的优化设计第26-28 页
    · 分析模型与成分设计第26-27 页
    · 材料的物性计算第27-28 页
  2 梯度材料的制备第28-29 页
  3 试样的测定第29 页
  4 梯度薄膜的成分、物相、表面形貌和厚度分析第29-34 页
    · 功能梯度材料成分的XPS分析第29-31 页
    · 功能梯度材料的物相分析第31-32 页
    · 功能梯度材料的表面形貌观测第32-33 页
    · 功能梯度材料的厚度分析第33-34 页
  5 功能梯度材料的物性评价第34 页
  6 本篇小结第34-35 页
第四篇 MOCVD法制备金属-陶瓷功能梯度材料的研究第35-49 页
  1 MOCVD法制备Mo/SiO_2功能梯度材料的研究第35-43 页
    · 分析模型和成分设计第35-36 页
    · 材料的物性计算第36-37 页
    · 热应力模型的建立第37-38 页
    · 梯度材料的制备第38-39 页
    · 试样的测定第39 页
    · 结果与讨论第39-43 页
      · 原材料的选择第39-40 页
      · 功能梯度材料成分的XPS分析第40-42 页
      · 功能梯度材料的物相分析第42-43 页
      · 功能梯度材料的表面形貌观测第43 页
    · 功能梯度材料的物性评价第43 页
  2 MOCVD法制备Mo/TiO_2功能梯度材料的研究第43-48 页
    · Mo/TiO_2功能梯度材料的现代化设计第43-46 页
    · 实验及测试结果第46 页
      · 样品的制备第46 页
      · 试样的测定第46 页
    · 结果讨论第46-48 页
  3 本篇小结第48-49 页
结论第49-50 页
参考文献第50-52 页
附录: 发表论文情况第52-53 页
致谢第53页

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