论文目录 | |
目录 | 第1-4
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中文摘要 | 第4-8
页 |
第一篇 引言 | 第8-20
页 |
1 功能梯度材料的研究进展 | 第8-14
页 |
2 化学气相沉积(CVD)和金属有机气相沉积(MOCVD)的研究和发展 | 第14-16
页 |
3 Fe(CO)_5、Mo(CO)_6化学气相沉积的成膜机制和成膜最佳工艺条件 | 第16
页 |
4 本文研究的主要内容、目的和意义 | 第16-18
页 |
5 本项研究采用的实验装置和工艺流程 | 第18-20
页 |
第二篇 化学气相沉积(CVD)法制备SiO_2薄膜工艺条件的研究 | 第20-26
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1 工艺过程及膜的制备 | 第20-22
页 |
· 样品的制备 | 第20
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· 薄膜的表征 | 第20-22
页 |
2 不同实验条件对SiO_2薄膜沉积速率的影响 | 第22-25
页 |
· 正硅酸乙酯的热力学性质与成核机理 | 第22-23
页 |
· 基片温度对TEOS气相沉积膜结构的影响 | 第23-24
页 |
· TEOS温度对SiO_2膜沉积速率的影响 | 第24-25
页 |
· 沉积时间对SiO_2膜沉积速率的影响 | 第25
页 |
· SiO_2膜的物相、元素成分和显微结构 | 第25
页 |
3 本篇小结 | 第25-26
页 |
第三篇 MOCVD法制备Fe/Mo功能梯度材料的研究 | 第26-35
页 |
1 功能梯度材料的优化设计 | 第26-28
页 |
· 分析模型与成分设计 | 第26-27
页 |
· 材料的物性计算 | 第27-28
页 |
2 梯度材料的制备 | 第28-29
页 |
3 试样的测定 | 第29
页 |
4 梯度薄膜的成分、物相、表面形貌和厚度分析 | 第29-34
页 |
· 功能梯度材料成分的XPS分析 | 第29-31
页 |
· 功能梯度材料的物相分析 | 第31-32
页 |
· 功能梯度材料的表面形貌观测 | 第32-33
页 |
· 功能梯度材料的厚度分析 | 第33-34
页 |
5 功能梯度材料的物性评价 | 第34
页 |
6 本篇小结 | 第34-35
页 |
第四篇 MOCVD法制备金属-陶瓷功能梯度材料的研究 | 第35-49
页 |
1 MOCVD法制备Mo/SiO_2功能梯度材料的研究 | 第35-43
页 |
· 分析模型和成分设计 | 第35-36
页 |
· 材料的物性计算 | 第36-37
页 |
· 热应力模型的建立 | 第37-38
页 |
· 梯度材料的制备 | 第38-39
页 |
· 试样的测定 | 第39
页 |
· 结果与讨论 | 第39-43
页 |
· 原材料的选择 | 第39-40
页 |
· 功能梯度材料成分的XPS分析 | 第40-42
页 |
· 功能梯度材料的物相分析 | 第42-43
页 |
· 功能梯度材料的表面形貌观测 | 第43
页 |
· 功能梯度材料的物性评价 | 第43
页 |
2 MOCVD法制备Mo/TiO_2功能梯度材料的研究 | 第43-48
页 |
· Mo/TiO_2功能梯度材料的现代化设计 | 第43-46
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· 实验及测试结果 | 第46
页 |
· 样品的制备 | 第46
页 |
· 试样的测定 | 第46
页 |
· 结果讨论 | 第46-48
页 |
3 本篇小结 | 第48-49
页 |
结论 | 第49-50
页 |
参考文献 | 第50-52
页 |
附录: 发表论文情况 | 第52-53
页 |
致谢 | 第53页 |