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柔性透明导电薄膜的研究
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柔性透明导电薄膜的研究
论文目录
摘要
第1-3页
Abstract
第3-5页
目录
第5-7页
第一章 绪论
第7-23页
· 引言
第7-8页
· ZnO的基本性质
第8-10页
· ZnO柔性透明导电薄膜的研究进展
第10-12页
· 叠层透明导电薄膜的研究进展
第12-14页
· ALD制备透明导电薄膜的研究进展
第14-17页
· 研究目标
第17-18页
· 研究内容
第18-19页
参考文献
第19-23页
第二章 薄膜制备技术及性能测量方法
第23-34页
· 磁控溅射镀膜技术
第23-25页
· 原子层沉积系统
第25-27页
· 原子层沉积基本原理
第25-26页
· 原子层沉积系统的基本结构
第26页
· ALD技术的应用
第26-27页
· 薄膜的性能分析方法
第27-33页
· 电学性能的测量
第27-31页
· 光学性能的测量
第31-33页
参考文献
第33-34页
第三章 叠层透明导电薄膜的制备及研究
第34-52页
· ZnO/In/ZnO叠层薄膜的制备及性能分析
第34-42页
· ZnO/In/ZnO叠层薄膜的制备
第34-35页
· 分析方法和测试方法
第35-36页
· ZnO/In/ZnO叠层薄膜的电学性能分析
第36-39页
· ZnO/In/ZnO叠层薄膜的光学性能分析
第39-41页
· 小结
第41-42页
· AZO/Cu/AZO叠层薄膜的制备及性能分析
第42-50页
· AZO/Cu/AZO叠层薄膜的制备
第42页
· 分析方法和测试方法
第42-43页
· AZO/Cu/AZO叠层薄膜电学性能分析
第43-44页
· AZO/Cu/AZO叠层薄膜光学性能分析
第44-47页
· AZO/Cu/AZO叠层薄膜的弯曲性能
第47-49页
· 小结
第49-50页
参考文献
第50-52页
第四章 纳米阵列结构AZO透明导电薄膜
第52-65页
· ALD与溅射制备AZO薄膜及其性能分析
第52-57页
· AZO薄膜制备方法
第52页
· 分析方法和测试方法
第52页
· 制备方法对表面形貌及性能的影响
第52-57页
· 小结
第57页
· 薄膜厚度对AZO表而形貌及电学和光学性能的影响
第57-63页
· AZO薄膜制备方法
第57-58页
· AZO薄膜性能测试方法
第58页
· AZO薄膜性能分析
第58-61页
· 小结
第61-63页
参考文献
第63-65页
第五章 总结与展望
第65-66页
硕士期间主要研究成果
第66-67页
致谢
第67-68 页
本篇论文共
68
页,
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