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柔性透明导电薄膜的研究

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柔性透明导电薄膜的研究
论文目录
 
摘要第1-3页
Abstract第3-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-23页
  · 引言第7-8页
  · ZnO的基本性质第8-10页
  · ZnO柔性透明导电薄膜的研究进展第10-12页
  · 叠层透明导电薄膜的研究进展第12-14页
  · ALD制备透明导电薄膜的研究进展第14-17页
  · 研究目标第17-18页
  · 研究内容第18-19页
  参考文献第19-23页
第二章 薄膜制备技术及性能测量方法第23-34页
  · 磁控溅射镀膜技术第23-25页
  · 原子层沉积系统第25-27页
    · 原子层沉积基本原理第25-26页
    · 原子层沉积系统的基本结构第26页
    · ALD技术的应用第26-27页
  · 薄膜的性能分析方法第27-33页
    · 电学性能的测量第27-31页
    · 光学性能的测量第31-33页
  参考文献第33-34页
第三章 叠层透明导电薄膜的制备及研究第34-52页
  · ZnO/In/ZnO叠层薄膜的制备及性能分析第34-42页
    · ZnO/In/ZnO叠层薄膜的制备第34-35页
    · 分析方法和测试方法第35-36页
    · ZnO/In/ZnO叠层薄膜的电学性能分析第36-39页
    · ZnO/In/ZnO叠层薄膜的光学性能分析第39-41页
    · 小结第41-42页
  · AZO/Cu/AZO叠层薄膜的制备及性能分析第42-50页
    · AZO/Cu/AZO叠层薄膜的制备第42页
    · 分析方法和测试方法第42-43页
    · AZO/Cu/AZO叠层薄膜电学性能分析第43-44页
    · AZO/Cu/AZO叠层薄膜光学性能分析第44-47页
    · AZO/Cu/AZO叠层薄膜的弯曲性能第47-49页
    · 小结第49-50页
  参考文献第50-52页
第四章 纳米阵列结构AZO透明导电薄膜第52-65页
  · ALD与溅射制备AZO薄膜及其性能分析第52-57页
    · AZO薄膜制备方法第52页
    · 分析方法和测试方法第52页
    · 制备方法对表面形貌及性能的影响第52-57页
    · 小结第57页
  · 薄膜厚度对AZO表而形貌及电学和光学性能的影响第57-63页
    · AZO薄膜制备方法第57-58页
    · AZO薄膜性能测试方法第58页
    · AZO薄膜性能分析第58-61页
    · 小结第61-63页
  参考文献第63-65页
第五章 总结与展望第65-66页
硕士期间主要研究成果第66-67页
致谢第67-68 页

本篇论文共68页,点击这进入下载页面
 
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