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柔性ITO透明导电薄膜的研究
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柔性ITO透明导电薄膜的研究
论文目录
摘要
第1-4 页
Abstract
第4-7 页
第一章 绪论
第7-10 页
· 引言
第7-8 页
· 本文研究目的及章节分布
第8-10 页
第二章 文献综述与膜系的特性分析
第10-36 页
· TCO 薄膜的概述
第10-15 页
· TCO 薄膜的制备方法
第10-12 页
· TCO 薄膜的应用
第12-13 页
· TCO 薄膜的发展现状
第13-15 页
· ITO薄膜的特性分析
第15-26 页
· 电学性能
第16-21 页
· 光学性能
第21-26 页
· 金属薄膜的光学特性
第26-28 页
· 多层膜的光学特性
第28-30 页
· 薄膜的表征
第30-35 页
· 晶体结构形貌的表征
第31-32 页
X 射线衍射(XRD)分析
第31 页
扫描电子显微镜(SEM)分析
第31-32 页
· 光学性能的测试
第32-33 页
· 电学性能的测试
第33-35 页
· 本章小结
第35-36 页
第三章 柔性ITO的膜系设计与制备
第36-45 页
· 柔性ITO的膜系设计
第36-38 页
· 柔性ITO膜系的制备
第38-44 页
· 制备原理
第38-41 页
· 实验设备
第41-42 页
· 制备过程
第42-44 页
· 本章小结
第44-45 页
第四章 实验结果与分析
第45-61 页
· SiO_2阻挡层的影响
第45-46 页
· ITO薄膜的研究
第46-58 页
· 衬底温度和退火处理对薄膜性质的影响
第46-49 页
· 射频功率对薄膜性质的影响
第49-53 页
· 氧气浓度对薄膜性质的影响
第53-55 页
· 臭氧对薄膜性质的影响
第55-58 页
· Ag层厚度的影响
第58-59 页
· SiO_2/ITO/Ag/ITO膜系的研究
第59-60 页
· 本章小结
第60-61 页
第五章 结论与展望
第61-63 页
· 结论与创新点
第61-62 页
· 展望
第62-63 页
参考文献
第63-66 页
致谢
第66 页
本篇论文共
66
页,
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。
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