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柔性ITO透明导电薄膜的研究

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柔性ITO透明导电薄膜的研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
Abstract第4-7 页
第一章 绪论第7-10 页
  · 引言第7-8 页
  · 本文研究目的及章节分布第8-10 页
第二章 文献综述与膜系的特性分析第10-36 页
  · TCO 薄膜的概述第10-15 页
    · TCO 薄膜的制备方法第10-12 页
    · TCO 薄膜的应用第12-13 页
    · TCO 薄膜的发展现状第13-15 页
  · ITO薄膜的特性分析第15-26 页
    · 电学性能第16-21 页
    · 光学性能第21-26 页
  · 金属薄膜的光学特性第26-28 页
  · 多层膜的光学特性第28-30 页
  · 薄膜的表征第30-35 页
    · 晶体结构形貌的表征第31-32 页
      X 射线衍射(XRD)分析第31 页
      扫描电子显微镜(SEM)分析第31-32 页
    · 光学性能的测试第32-33 页
    · 电学性能的测试第33-35 页
  · 本章小结第35-36 页
第三章 柔性ITO的膜系设计与制备第36-45 页
  · 柔性ITO的膜系设计第36-38 页
  · 柔性ITO膜系的制备第38-44 页
    · 制备原理第38-41 页
    · 实验设备第41-42 页
    · 制备过程第42-44 页
  · 本章小结第44-45 页
第四章 实验结果与分析第45-61 页
  · SiO_2阻挡层的影响第45-46 页
  · ITO薄膜的研究第46-58 页
    · 衬底温度和退火处理对薄膜性质的影响第46-49 页
    · 射频功率对薄膜性质的影响第49-53 页
    · 氧气浓度对薄膜性质的影响第53-55 页
    · 臭氧对薄膜性质的影响第55-58 页
  · Ag层厚度的影响第58-59 页
  · SiO_2/ITO/Ag/ITO膜系的研究第59-60 页
  · 本章小结第60-61 页
第五章 结论与展望第61-63 页
  · 结论与创新点第61-62 页
  · 展望第62-63 页
参考文献第63-66 页
致谢第66 页

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