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声光可调谐滤波器的理论分析与实验研究

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声光可调谐滤波器的理论分析与实验研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-9 页
第1章 绪论第9-14 页
  · 声光可调谐滤波器的发展历程第9-10 页
  · 声光可调谐滤波器的研究现状第10-12 页
  · 声光可调谐滤波器的理论及应用第12-13 页
  · 本论文内容的安排第13-14 页
第2章 声光可调谐滤波器的理论基础第14-28 页
  · AOTF中的声光作用原理第14-17 页
    · 正常布拉格衍射第15-16 页
    · 反常布拉格衍射第16-17 页
  · 耦合模理论第17-21 页
    · 周期性介质的耦合方程的推导第17-20 页
    · 声波作用下微扰项的求解第20-21 页
  · 模分离器原理第21-24 页
  · 设计工具介绍第24-27 页
    · 有效折射率法第24-25 页
    · 光束传播法(BPM)第25-27 页
      · 快速傅立叶变换光束传播法第26 页
      · 有限元光束传播法第26 页
      · 有限差分光束传播法第26-27 页
  · 小结第27-28 页
第3章 声光可调谐滤波器的设计第28-59 页
  · 声表面波又指换能器设计第28-39 页
    · 叉指换能器的工作原理第28-29 页
    · 叉指换能器的设计第29-33 页
    · 叉指换能器的射频驱动电路和匹配电路的设计第33-39 页
      · 射频驱动电路设计第33-37 页
      · 外围匹配电路的设计第37-39 页
  · 钛扩声波导及声吸收带第39-45 页
    · 钛扩散第39-42 页
      · 钛扩散理论第39-41 页
      · 热扩散法第41-42 页
    · 声波导设计第42-45 页
    · 声吸收带第45 页
  · 钛扩散铌酸锂光波导设计第45-51 页
    · Ti:LiNbO_3光波导折射率第46-49 页
      · LiNbO_3的折射率第46 页
      · Ti:LiNbO_3光波导中的折射率分布第46-49 页
    · 光波导参数选择第49-51 页
  · 集成光学模分离器设计第51-58 页
    · TE/TM模分离器的结构和工作原理第52-53 页
    · TE/TM模分离器的设计第53-58 页
  · 本章小节第58-59 页
第4章 基于LiNbO_3的声光可调谐滤波器的制作及实验结果第59-77 页
  · AOTF制作的工艺流程第59-67 页
    · 掩模版的设计制作第59-61 页
    · 基片准备第61-62 页
    · 镀膜第62-63 页
    · 光刻技术第63-66 页
    · 腐蚀第66 页
    · 去胶第66 页
    · 钛扩散第66-67 页
  · AOTF的实验制备第67-77 页
    · 光刻实验数据分析第67-72 页
      · 光刻实验步骤第67-68 页
      · 匀胶实验第68-70 页
      · 曝光与显影第70-71 页
      · 光刻结果和分析第71-72 页
    · 声波导的工艺制作第72-73 页
    · 光波导与模分离器的工艺制作第73-74 页
    · 叉指换能器的工艺制作第74-75 页
    · AOTF的制作结果第75-77 页
第5章 总结与展望第77-79 页
参考文献第79-82 页
附录1 三层套刻总装图第82-83 页
附录2 声波导掩模版第83-84 页
附录3 叉指换能器掩模版第84-85 页
附录4 光波导和模分离器掩模版第85-86 页
致谢第86-87 页
攻读学位期间参加的科研项目和成果第87 页

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