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声光可调谐滤波器的理论分析与实验研究
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声光可调谐滤波器的理论分析与实验研究
论文目录
摘要
第1-6 页
ABSTRACT
第6-9 页
第1章 绪论
第9-14 页
· 声光可调谐滤波器的发展历程
第9-10 页
· 声光可调谐滤波器的研究现状
第10-12 页
· 声光可调谐滤波器的理论及应用
第12-13 页
· 本论文内容的安排
第13-14 页
第2章 声光可调谐滤波器的理论基础
第14-28 页
· AOTF中的声光作用原理
第14-17 页
· 正常布拉格衍射
第15-16 页
· 反常布拉格衍射
第16-17 页
· 耦合模理论
第17-21 页
· 周期性介质的耦合方程的推导
第17-20 页
· 声波作用下微扰项的求解
第20-21 页
· 模分离器原理
第21-24 页
· 设计工具介绍
第24-27 页
· 有效折射率法
第24-25 页
· 光束传播法(BPM)
第25-27 页
· 快速傅立叶变换光束传播法
第26 页
· 有限元光束传播法
第26 页
· 有限差分光束传播法
第26-27 页
· 小结
第27-28 页
第3章 声光可调谐滤波器的设计
第28-59 页
· 声表面波又指换能器设计
第28-39 页
· 叉指换能器的工作原理
第28-29 页
· 叉指换能器的设计
第29-33 页
· 叉指换能器的射频驱动电路和匹配电路的设计
第33-39 页
· 射频驱动电路设计
第33-37 页
· 外围匹配电路的设计
第37-39 页
· 钛扩声波导及声吸收带
第39-45 页
· 钛扩散
第39-42 页
· 钛扩散理论
第39-41 页
· 热扩散法
第41-42 页
· 声波导设计
第42-45 页
· 声吸收带
第45 页
· 钛扩散铌酸锂光波导设计
第45-51 页
· Ti:LiNbO_3光波导折射率
第46-49 页
· LiNbO_3的折射率
第46 页
· Ti:LiNbO_3光波导中的折射率分布
第46-49 页
· 光波导参数选择
第49-51 页
· 集成光学模分离器设计
第51-58 页
· TE/TM模分离器的结构和工作原理
第52-53 页
· TE/TM模分离器的设计
第53-58 页
· 本章小节
第58-59 页
第4章 基于LiNbO_3的声光可调谐滤波器的制作及实验结果
第59-77 页
· AOTF制作的工艺流程
第59-67 页
· 掩模版的设计制作
第59-61 页
· 基片准备
第61-62 页
· 镀膜
第62-63 页
· 光刻技术
第63-66 页
· 腐蚀
第66 页
· 去胶
第66 页
· 钛扩散
第66-67 页
· AOTF的实验制备
第67-77 页
· 光刻实验数据分析
第67-72 页
· 光刻实验步骤
第67-68 页
· 匀胶实验
第68-70 页
· 曝光与显影
第70-71 页
· 光刻结果和分析
第71-72 页
· 声波导的工艺制作
第72-73 页
· 光波导与模分离器的工艺制作
第73-74 页
· 叉指换能器的工艺制作
第74-75 页
· AOTF的制作结果
第75-77 页
第5章 总结与展望
第77-79 页
参考文献
第79-82 页
附录1 三层套刻总装图
第82-83 页
附录2 声波导掩模版
第83-84 页
附录3 叉指换能器掩模版
第84-85 页
附录4 光波导和模分离器掩模版
第85-86 页
致谢
第86-87 页
攻读学位期间参加的科研项目和成果
第87 页
本篇论文共
87
页,
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