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考虑多种迁移机制的电迁移仿真算法研究及灵敏度分析

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考虑多种迁移机制的电迁移仿真算法研究及灵敏度分析
论文目录
 
摘要第1-7 页
ABSTRACT第7-11 页
第1章 绪论第11-24 页
  · 电迁移的历史演变第11-16 页
  · 电迁移失效的检测及评价方法第16-18 页
    · 互连引线的电迁移评价第16-17 页
    · 互连凸点的电迁移评价第17-18 页
  · 电迁移问题的研究现状第18-22 页
    · 电迁移的驱动机制第18-19 页
    · 薄膜结构的电迁移研究现状第19-20 页
    · 互连凸点的电迁移研究现状第20-21 页
    · 电迁移的有限元模拟研究现状第21-22 页
  · 研究的主要内容和意义第22-24 页
第2章 电迁移的基本原理第24-32 页
  · 电迁移扩散理论第24-26 页
  · Black方程第26-27 页
  · 电迁移失效的影响因素第27-28 页
  · 实践的电迁移方程第28-30 页
    · 电场诱致的迁移通量第28 页
    · 热梯度诱致的迁移通量第28-29 页
    · 应力梯度诱致的迁移通量第29 页
    · 原子密度梯度诱致的迁移通量第29 页
    · 正则化的原子总通量表达式第29-30 页
    · 电迁移演化方程及边界条件第30 页
  · 传统的原子通量散度有限元法第30-32 页
第3章 考虑多种驱动机制作用的电迁移新算法第32-51 页
  · 原子密度重分布算法第32-43 页
    · 理论推导第32-35 页
    · 算法实施第35-39 页
      · 单元的映射第35-37 页
      · 单元质量矩阵的离散第37-38 页
      · 单元刚度矩阵的离散第38-39 页
    · 算法验证第39-43 页
  · 电迁移空洞演化算法第43-48 页
    · 间接耦合算法第44-45 页
    · 单元"生死"技术在空洞扩展仿真中的应用第45-47 页
    · 电迁移空洞形成和扩展的准则和结构失效的判据第47-48 页
  · ANSYS有限元分析软件与Fortran代码的接口处理第48-51 页
第4章 考虑多种驱动机制作用的电迁移新算法的应用实例第51-67 页
  · SWEAT结构的电迁移研究第51-55 页
  · CSP结构的电迁移研究第55-67 页
    · 倒装尺寸芯片CSP仿真模型及边界条件第55-58 页
    · 材料参数第58-59 页
    · 多物理场耦合仿真第59-61 页
    · 电迁移空洞的静态仿真第61-65 页
    · 电迁移空洞的动态仿真第65-67 页
第5章 试验设计仿真对电迁移的影响及灵敏度分析第67-87 页
  · 试验设计对电迁移寿命的影响第67-78 页
    · 全因子试验设计仿真第67-68 页
    · 全因子试验设计下的电迁移失效寿命讨论第68-78 页
  · 电迁移灵敏度分析第78-87 页
    · 电迁移灵敏度分析的理论基础第78-81 页
      5.2.1.1.灵敏度分析方程的关于时间的近似解第79 页
      5.2.1.2.灵敏度分析方程的离散第79-81 页
    · 电迁移灵敏度分析算法验证第81-83 页
    · CSP凸点的电迁移灵敏度分析结果第83-87 页
第6章 结论与展望第87-90 页
  · 结论第87-88 页
  · 展望第88-90 页
参考文献第90-97 页
致谢第97-98 页
攻读学位期间参加的科研项目和成果第98 页

本篇论文共98页,点击这进入下载页面
 
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