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考虑多种迁移机制的电迁移仿真算法研究及灵敏度分析
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考虑多种迁移机制的电迁移仿真算法研究及灵敏度分析
论文目录
摘要
第1-7 页
ABSTRACT
第7-11 页
第1章 绪论
第11-24 页
· 电迁移的历史演变
第11-16 页
· 电迁移失效的检测及评价方法
第16-18 页
· 互连引线的电迁移评价
第16-17 页
· 互连凸点的电迁移评价
第17-18 页
· 电迁移问题的研究现状
第18-22 页
· 电迁移的驱动机制
第18-19 页
· 薄膜结构的电迁移研究现状
第19-20 页
· 互连凸点的电迁移研究现状
第20-21 页
· 电迁移的有限元模拟研究现状
第21-22 页
· 研究的主要内容和意义
第22-24 页
第2章 电迁移的基本原理
第24-32 页
· 电迁移扩散理论
第24-26 页
· Black方程
第26-27 页
· 电迁移失效的影响因素
第27-28 页
· 实践的电迁移方程
第28-30 页
· 电场诱致的迁移通量
第28 页
· 热梯度诱致的迁移通量
第28-29 页
· 应力梯度诱致的迁移通量
第29 页
· 原子密度梯度诱致的迁移通量
第29 页
· 正则化的原子总通量表达式
第29-30 页
· 电迁移演化方程及边界条件
第30 页
· 传统的原子通量散度有限元法
第30-32 页
第3章 考虑多种驱动机制作用的电迁移新算法
第32-51 页
· 原子密度重分布算法
第32-43 页
· 理论推导
第32-35 页
· 算法实施
第35-39 页
· 单元的映射
第35-37 页
· 单元质量矩阵的离散
第37-38 页
· 单元刚度矩阵的离散
第38-39 页
· 算法验证
第39-43 页
· 电迁移空洞演化算法
第43-48 页
· 间接耦合算法
第44-45 页
· 单元"生死"技术在空洞扩展仿真中的应用
第45-47 页
· 电迁移空洞形成和扩展的准则和结构失效的判据
第47-48 页
· ANSYS有限元分析软件与Fortran代码的接口处理
第48-51 页
第4章 考虑多种驱动机制作用的电迁移新算法的应用实例
第51-67 页
· SWEAT结构的电迁移研究
第51-55 页
· CSP结构的电迁移研究
第55-67 页
· 倒装尺寸芯片CSP仿真模型及边界条件
第55-58 页
· 材料参数
第58-59 页
· 多物理场耦合仿真
第59-61 页
· 电迁移空洞的静态仿真
第61-65 页
· 电迁移空洞的动态仿真
第65-67 页
第5章 试验设计仿真对电迁移的影响及灵敏度分析
第67-87 页
· 试验设计对电迁移寿命的影响
第67-78 页
· 全因子试验设计仿真
第67-68 页
· 全因子试验设计下的电迁移失效寿命讨论
第68-78 页
· 电迁移灵敏度分析
第78-87 页
· 电迁移灵敏度分析的理论基础
第78-81 页
5.2.1.1.灵敏度分析方程的关于时间的近似解
第79 页
5.2.1.2.灵敏度分析方程的离散
第79-81 页
· 电迁移灵敏度分析算法验证
第81-83 页
· CSP凸点的电迁移灵敏度分析结果
第83-87 页
第6章 结论与展望
第87-90 页
· 结论
第87-88 页
· 展望
第88-90 页
参考文献
第90-97 页
致谢
第97-98 页
攻读学位期间参加的科研项目和成果
第98 页
本篇论文共
98
页,
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。
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