基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光

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基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光

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基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光

论文目录
摘要	第1-6 页
ABSTRACT	第6-9 页
第1章绪论	第9-16 页
· 课题的研究背景及意义	第9-10 页
· 国内外的研究现状及发展趋势	第10-14 页
· 机械抛光法	第10-11 页
· 化学辅助机械抛光法	第11-12 页
· 热化学抛光法	第12-13 页
· 离子束抛光法	第13 页
· 激光抛光法	第13 页
· 等离子体刻蚀抛光法	第13-14 页
· 本文研究的主要内容及方法	第14 页
· 本章小结	第14-16 页
第2章触媒抛光法的原理分析	第16-27 页
· 触媒原理	第16 页
· 石墨化原理分析	第16-19 页
· 触媒作用下CVD 金刚石的化学热力学研究	第19-23 页
· 石墨化反应过程的焓变及理论能耗	第19-21 页
· 石墨化反应过程的条件及方向	第21-23 页
· 触媒作用下CVD 金刚石的化学动力学研究	第23-26 页
· 本章小结	第26-27 页
第3章触媒抛光的仿真分析	第27-48 页
· 触媒作用的有限元仿真分析	第27-35 页
· 有限元仿真的参数定义	第27-29 页
· 有限元仿真的试验方案	第29-30 页
· 有限元仿真的试验及分析	第30-35 页
· 研究结果	第35 页
· 触媒抛光的运动学分析	第35-47 页
· 运动轨迹模型建立	第35-37 页
· 运动学仿真的参数定义	第37-38 页
· 运动学仿真的试验及结果分析	第38-47 页
· 研究结果	第47 页
· 本章小结	第47-48 页
第4章触媒抛光法的试验研究	第48-63 页
· 触媒抛光的主要设备及工具	第48-52 页
· 抛光台	第48-49 页
· 研磨盘	第49-50 页
· 金刚石砂轮	第50 页
· 行星轮	第50-51 页
· 超景深三维显微系统	第51 页
· 光学轮廓仪	第51-52 页
· 拉曼光谱仪	第52 页
· 试验方案设计	第52-55 页
· 正交试验设计	第52-53 页
· 触媒抛光的正交试验设计	第53-55 页
· 试验及结果分析	第55-56 页
· 加工效率对比研究	第56-62 页
· 表面形貌分析	第57-61 页
· 拉曼光谱分析	第61-62 页
· 研究结果	第62 页
· 本章小结	第62-63 页
第5章结论与展望	第63-66 页
· 结论	第63-64 页
· 展望	第64-66 页
参考文献	第66-70 页
致谢	第70-71 页
攻读学位期间参加的科研项目和成果	第71 页

本篇论文共71页，点击这进入下载页面。

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