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表面修饰SnO2气体传感器工艺研究及性能分析

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表面修饰SnO2气体传感器工艺研究及性能分析
论文目录
 
第1章 绪论第10-25页
  · 气敏传感器及其分类第10-12页
  · 国内外气体传感器的发展状况第12-16页
  · 纳米氧化物半导体气敏材料第16-18页
  · 纳米SnO_2 基气敏材料研究进展第18-24页
  · 本文研究目的和研究内容第24-25页
第2章 SnO_2粉体合成及传感器制作工艺第25-35页
  · 溶胶-凝胶法原理第25-28页
  · SnO_2 纳米粉体的合成第28-31页
    · 主要化学试剂、仪器设备及工艺环境要求第28-29页
    · SnO_2 纳米粉体合成过程第29-31页
  · 气体传感器的制作第31-33页
  · 测试方法第33-34页
  · 本章小结第34-35页
第3章 SnO_2气体传感器性能第35-46页
  · 修饰前气敏性能第35-36页
    · SnO_2 气体传感器初期稳定性第35-36页
    · SnO_2 气体传感器灵敏度特性第36页
  · Al_20_3(Pt)修饰SnO_2 双层膜的气敏性能第36-40页
    · Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜初期稳定性的影响第36-37页
    · Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜气敏性能的影响第37-40页
    · 加热电压对修饰SnO_2 双层膜气敏性能的影响第40页
  · TiO_2(Pt)修饰SnO_2 双层膜的气敏性能第40-45页
    · Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜初期稳定性的影响第40-41页
    · Pt 浓度对修饰SnO_2 双层膜气敏性能的影响第41-44页
    · 加热电压对修饰SnO_2 双层膜的气敏性影响第44-45页
  · 本章小结第45-46页
第4章 Al_20_3修饰SnO_2双层膜的表征及组分分析第46-52页
  · SnO_2 敏感层微观结构第46-47页
  · Al_20_3 催化层的表面形貌第47-49页
  · 双层膜断面形貌第49-50页
  · 双层膜气体传感器的组分分析第50-51页
  · 本章小结第51-52页
第5章 气敏机理及表面修饰机理探讨第52-66页
  · SnO_2 气敏机理第52-60页
    · 纯SnO_2 气敏机理第52-58页
    · 纳米SnO_2 气敏机理第58-59页
    · 纳米SnO_2 掺杂机理第59-60页
  · Al_20_3 表面催化修饰机理第60-63页
  · TiO_2 表面催化修饰机理第63-65页
  · 本章小结第65-66页
结论第66-67页
参考文献第67-73页
攻读学位期间发表的学术论文第73-74页
致谢第74 页

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