水基抛光材料去除机理的微观试验研究

	载入中...

水基抛光材料去除机理的微观试验研究

分类：教育论文网→工业技术论文→金属学与金属工艺论文→金属学与热处理论文→金属腐蚀与保护、金属表面处理论文→金属电抛光及化学抛光论文

水基抛光材料去除机理的微观试验研究

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章绪论	第7-17页
· 课题的研究背景	第7-10页
· 课题来源	第7页
· 研究背景	第7-8页
· 化学机械抛光技术（CMP）及其影响因素	第8-9页
· CMP 技术的发展和存在的问题	第9-10页
· CMP 材料去除机理的国内外研究现状	第10-15页
· 材料连续去除机理	第11-13页
· 非连续去除机理（原子/分子去除机理）	第13-15页
· CMP 中机械作用对化学反应的控制关系的研究现状及分析	第15-16页
· 本课题的主要研究内容	第16-17页
第二章单晶硅在干摩擦和水润滑条件下的摩擦磨损性能研究	第17-35页
· 概述	第17-21页
· 单晶硅的性质和力学性能	第17-18页
· 材料磨损机理	第18-19页
· 硅片表面的抛光技术分类	第19-20页
· 硅片表面CMP 动力学过程分析	第20-21页
· 试验方法	第21-25页
· 实验原料和试剂	第21页
· 实验设备与仪器	第21-24页
· 实验方法	第24-25页
· 机械作用对摩擦磨损性能影响	第25-34页
· 载荷对摩擦系数与磨损率的影响	第25-29页
· 滑动速度对摩擦系数和磨损率的影响	第29-33页
· 磨损表面分析	第33-34页
· 单次磨痕深度分析	第34页
· 本章小结	第34-35页
第三章单晶硅在H_20_2介质和静态H_20_2腐蚀条件下的摩擦磨损性能研究	第35-49页
· 单晶硅的微观机械和摩擦磨损性能研究的意义	第35-36页
· 氧化剂为H_20_2 的CMP 抛光液	第35页
· 单晶硅片加工表面层损伤	第35-36页
· 单晶硅CMP 过程的摩擦性能研究	第36页
· 试验方法	第36-37页
· 实验原料及设备	第36页
· 实验方法	第36-37页
· 实验结果及分析	第37-46页
· 载荷对摩擦系数与磨损率的影响	第37-41页
· 滑动速度对摩擦系数和磨损率的影响	第41-45页
· 磨损表面分析	第45-46页
· 单次磨痕深度分析	第46页
· 本章小结	第46-49页
第四章化学机械抛光中机械作用对化学反应的控制影响规律	第49-59页
· 载荷对摩擦磨损性能的影响	第49-52页
· 摩擦系数	第49页
· 磨损率	第49-50页
· 磨损表面分析	第50-52页
· 滑动速度对摩擦磨损性能的影响	第52-55页
· 摩擦系数	第52-53页
· 磨损率	第53页
· 磨损表面分析	第53-55页
· AFM 微观划痕试验	第55-59页
· 实验方法	第56页
· 结果与分析	第56-59页
第五章总结与展望	第59-61页
· 总结	第59-60页
· 创新点	第60页
· 展望	第60-61页
致谢	第61-63页
参考文献	第63-67页
附录作者在攻读硕士学位期间发表的论文	第67页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

更多论文
水基抛光材料去除机理的微观试验研
基于ADAMS的焊接机器人动力学仿真研
中国钢铁产业国际竞争力研究
干燥工艺和壳聚糖Maillard产物对半
淀粉—肉桂醛包合物的超声波法制备
交联辛烯基琥珀酸木薯淀粉酯的挤压
淀粉胶粘剂协同漆酶应用于人造板生
普鲁兰壳聚糖复合可食用膜的性质研
淀粉的玉米醇溶蛋白微胶囊化及其慢
玉米淀粉与多糖混合体系的糊化及流
膳食纤维对肌原纤维蛋白凝胶及香肠
超声波浸提联合β-环糊精包埋提高绿
酱油曲霉巯基氧化酶的摇瓶发酵及其
冷冻面条品质改善的研究
无溶剂酶法催化体系合成低热短长碳
基于PCS7的柠檬酸提纯控制算法及优
基于PCS7的柠檬酸钠提纯控制算法及
玉米多孔淀粉的酶法制备及其作为吸
云南清香型卷烟特征香味成分剖析与
小米淀粉热膨化性质研究及小米雪饼
酶促酸解制备类可可脂的研究
油茶籽干燥、储藏及压榨制油工艺研
富硝芹菜粉在发酵肉制品中使用功效
油炸卤制草鱼粒的加工工艺及贮藏稳
双螺杆挤压制备谷物早餐的研究
储藏方式对小包装大米品质变化的影
IC反应器中低温处理啤酒废水的效能
儿童家具可成长性设计研究
新兴交互方式对电子游戏体验的影响
闭合式旋流纺纤维集聚装置改进及成
经编机电子横移系统高速影响因素
紫薯—小麦混合粉的性质及面条品质
燕麦中活性成分的提取、分离与结构
基于核酸适配体的食品中OTA和Hg（Ⅱ
酶法生产富含低聚木糖的小麦麸皮饮
含有重组华根霉脂肪酶和转谷氨酰胺
高膳食纤维对面包面团发酵烘焙及贮
琯溪蜜柚罐头加工工艺的研究
超高压和膳食纤维对复合鱼糜凝胶品
食品中四种重要过敏原酶联免疫检测
超声辅助湿热法制备大豆分离蛋白糖
利用水相同时提取花生油和蛋白工艺
角质酶在羊毛防缩中的作用研究
角质酶在棉精练中的应用机制研究
预压缩率对蜂窝纸板动静态缓冲性能
卵黄高磷蛋白磷酸肽的分离纯化及功
基于磁性纳米材料的病原微生物PCR和
脂肪酶非水相合成植物甾醇酯及其动
离子液体催化合成植物甾醇酯及其分
Lyocell纤维原液着色用超细颜料的制
右旋糖酐修饰Savinase蛋白酶及用于
蛋白酶的化学修饰及其在羊毛防毡缩
超细颜料的制备及其颗粒性质对棉织
基于图像处理的纱线细度测量
四罗拉紧密纺集聚区气流导向研究及
毛用匀染剂的合成与应用
麦芽和啤酒中赤霉酸的研究
谷氨酸连续等电结晶的基础研究及过
酒精沼气双发酵耦联工艺探究
啤酒中多酚物质的研究
碳标签食品生产决策与消费行为研究
离子液体在锂、锶浮选中的应用及其
离子液体用于盐湖卤水中锂和硼提取
纤维素功能菌群及其木薯酒糟高效甲

化学机械抛光论文材料去除机理论文摩擦磨损水润滑论文 H_2O_2论文
版权申明：目录由用户jingdi**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved