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在SiC衬底C面外延石墨烯生长过程研究

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在SiC衬底C面外延石墨烯生长过程研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
符号对照表第11-12页
缩略语对照表第12-15页
第一章 绪论第15-27页
  1.1 研究背景第15-16页
  1.2 石墨烯材料概述第16-24页
    1.2.1 石墨烯的晶格结构及能带结构第16-19页
    1.2.2 石墨烯的性质第19-21页
    1.2.3 石墨烯的应用第21-24页
  1.3 本论文的主要工作及章节划分第24-27页
第二章 石墨烯的表征方法及制备方法第27-37页
  2.1 石墨烯的表征方法第27-33页
    2.1.1 光学显微镜第27页
    2.1.2 扫描电子显微镜第27页
    2.1.3 原子力显微镜第27-28页
    2.1.4 拉曼光谱仪第28-33页
    2.1.5 霍尔效应第33页
  2.2 石墨烯的制备方法第33-36页
    2.2.1 微机械剥离法第34页
    2.2.2 金属衬底化学气相淀积法第34-35页
    2.2.3 氧化石墨还原法第35页
    2.2.4 SiC外延石墨烯法第35-36页
  2.3 本章小结第36-37页
第三章 SiC高温外延石墨烯的生长过程及工艺过程第37-47页
  3.1 SiC衬底第37-38页
  3.2 在SiC衬底上高温外延石墨烯的生长过程第38-40页
    3.2.1 硅面外延石墨烯第38-39页
    3.2.2 碳面石墨烯生长第39-40页
  3.3 高温外延石墨烯预处理工艺过程第40-42页
    3.3.1 划片第40页
    3.3.2 清洗第40-41页
    3.3.3 氢刻蚀第41页
    3.3.4 去化合物第41-42页
  3.4 高温热解法外延生长石墨烯第42-45页
  3.5 本章小结第45-47页
第四章 SiC衬底C面高温外延石墨烯结果分析第47-65页
  4.1 实验结果的拉曼表征第47-53页
  4.2 实验结果的AFM表征结果第53-58页
  4.3 实验结果的其他表征第58-61页
  4.4 未刻蚀与氢刻蚀SiC外延结果对比第61-64页
  4.5 本章小结第64-65页
第五章 总结与展望第65-67页
参考文献第67-71页
致谢第71-73页
作者简介第73-74页

本篇论文共74页,点击这进入下载页面
 
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