在SiC衬底C面外延石墨烯生长过程研究

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在SiC衬底C面外延石墨烯生长过程研究

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在SiC衬底C面外延石墨烯生长过程研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
符号对照表	第11-12页
缩略语对照表	第12-15页
第一章绪论	第15-27页
1.1 研究背景	第15-16页
1.2 石墨烯材料概述	第16-24页
1.2.1 石墨烯的晶格结构及能带结构	第16-19页
1.2.2 石墨烯的性质	第19-21页
1.2.3 石墨烯的应用	第21-24页
1.3 本论文的主要工作及章节划分	第24-27页
第二章石墨烯的表征方法及制备方法	第27-37页
2.1 石墨烯的表征方法	第27-33页
2.1.1 光学显微镜	第27页
2.1.2 扫描电子显微镜	第27页
2.1.3 原子力显微镜	第27-28页
2.1.4 拉曼光谱仪	第28-33页
2.1.5 霍尔效应	第33页
2.2 石墨烯的制备方法	第33-36页
2.2.1 微机械剥离法	第34页
2.2.2 金属衬底化学气相淀积法	第34-35页
2.2.3 氧化石墨还原法	第35页
2.2.4 SiC外延石墨烯法	第35-36页
2.3 本章小结	第36-37页
第三章 SiC高温外延石墨烯的生长过程及工艺过程	第37-47页
3.1 SiC衬底	第37-38页
3.2 在SiC衬底上高温外延石墨烯的生长过程	第38-40页
3.2.1 硅面外延石墨烯	第38-39页
3.2.2 碳面石墨烯生长	第39-40页
3.3 高温外延石墨烯预处理工艺过程	第40-42页
3.3.1 划片	第40页
3.3.2 清洗	第40-41页
3.3.3 氢刻蚀	第41页
3.3.4 去化合物	第41-42页
3.4 高温热解法外延生长石墨烯	第42-45页
3.5 本章小结	第45-47页
第四章 SiC衬底C面高温外延石墨烯结果分析	第47-65页
4.1 实验结果的拉曼表征	第47-53页
4.2 实验结果的AFM表征结果	第53-58页
4.3 实验结果的其他表征	第58-61页
4.4 未刻蚀与氢刻蚀SiC外延结果对比	第61-64页
4.5 本章小结	第64-65页
第五章总结与展望	第65-67页
参考文献	第67-71页
致谢	第71-73页
作者简介	第73-74页

本篇论文共74页，点击这进入下载页面。

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