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摩擦化学抛光单晶金刚石的工艺研究
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摩擦化学抛光单晶金刚石的工艺研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
1 绪论
第9-19页
1.1 选题背景及意义
第9-10页
1.2 国内外研究现状及发展趋势
第10-17页
1.2.1 国内外金刚石抛光技术研究概况
第10-14页
1.2.2 摩擦化学抛光技术
第14-15页
1.2.3 金刚石抛光技术的比较
第15-17页
1.3 课题来源及主要研究内容
第17-19页
1.3.1 课题来源
第17页
1.3.2 主要研究内容
第17-19页
2 金刚石摩擦化学抛光用钨合金盘的制备
第19-29页
2.1 抛光盘材料的选择
第19页
2.2 WMoCr抛光盘的制备过程
第19-21页
2.2.1 原料与实验设备
第19-20页
2.2.2 机械合金化
第20-21页
2.2.3 热压烧结
第21页
2.3 烧结温度的影响
第21-24页
2.3.1 烧结温度对密度和硬度的影响
第22-23页
2.3.2 烧结温度对组织的影响
第23-24页
2.4 烧结压力的影响
第24-26页
2.4.1 烧结压力对密度和硬度的影响
第24-25页
2.4.2 烧结压力对组织的影响
第25-26页
2.5 烧结时间的确定
第26-28页
2.6 本章小结
第28-29页
3 WMoCr抛光盘抛光单晶金刚石的工艺优化
第29-44页
3.1 摩擦化学抛光实验
第29-34页
3.1.1 摩擦化学抛光实验装置
第29-30页
3.1.2 摩擦化学抛光单晶金刚石实验过程
第30-33页
3.1.3 实验检测仪器
第33-34页
3.1.4 金刚石去除率和抛光盘磨损率的测量
第34页
3.2 抛光压力的影响
第34-38页
3.2.1 抛光压力对金刚石去除率和抛光盘磨损率的影响
第34-35页
3.2.2 抛光压力对金刚石表面质量的影响
第35-38页
3.3 抛光速度的影响
第38-42页
3.3.1 抛光速度对金刚石去除率和抛光盘磨损率的影响
第38-39页
3.3.2 抛光速度对金刚石表面质量的影响
第39-42页
3.4 本章小结
第42-44页
4 WMoCr抛光盘抛光金刚石石墨化温度的探究
第44-56页
4.1 金刚石的抛光温度
第44-45页
4.1.1 金刚石温度的检测方案
第44-45页
4.2 摩擦化学抛光金刚石温度场模型
第45-51页
4.2.1 几何模型的建立
第45-47页
4.2.2 热载荷的计算
第47-50页
4.2.3 数值计算结果与分析
第50-51页
4.3 金刚石石墨化温度
第51-55页
4.4 本章小结
第55-56页
结论
第56-58页
参考文献
第58-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第61-62页
致谢
第62-63页
本篇论文共
63
页,
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。
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