提高硅应变传感器可靠性方法研究

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提高硅应变传感器可靠性方法研究

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提高硅应变传感器可靠性方法研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章绪论	第10-20页
1.1 论文研究背景及意义	第10-11页
1.2 硅应变传感器概述与可靠性指标	第11-13页
1.3 国内外提高传感器可靠性研究进展	第13-18页
1.3.1 提高充油传感器可靠性的方法	第13-15页
1.3.2 提高陶瓷压阻传感器可靠性方法	第15-16页
1.3.3 提高电容压力传感器可靠性方法	第16-17页
1.3.4 提高溅射薄膜传感器可靠性方法	第17-18页
1.3.5 常用的通用稳定性可靠性处理工艺	第18页
1.4 论文研究内容及章节安排	第18-20页
第二章影响硅应变传感器可靠性的因素分析	第20-29页
2.1 引言	第20页
2.2 硅应变传感器的分类与结构	第20-23页
2.3 影响硅应变传感器可靠性的因素分析	第23-26页
2.4 提高硅应变传感器的可靠性的方法措施分析	第26-27页
2.5 本章小结	第27-29页
第三章硅应变传感器压力座SISTPB可靠性优化设计	第29-46页
3.1 引言	第29页
3.2 SISTPB结构对传感器灵敏度影响与仿真	第29-32页
3.2.1 不带钉压力座结构设计	第30-31页
3.2.2 带钉压力座结构设计	第31-32页
3.3 SISTPB结构对传感器过载能力影响与仿真	第32-36页
3.3.1 不同R角的径向应力分布	第33-35页
3.3.2 不同R角的满量程最大内应力和输出估算	第35页
3.3.3 不同硅应变计粘贴位置的输出	第35-36页
3.3.4 仿真结果分析	第36页
3.4 SISTPB可靠性优化设计	第36-45页
3.4.1 硅应变传感器量程与SISTPB膜厚对应关系	第37-39页
3.4.2 SISTPB尺寸误差的影响	第39页
3.4.3 SISTPB应力槽尺寸	第39-45页
3.5 本章小结	第45-46页
第四章硅应变传感器的制造工艺分析与降低应力方法	第46-53页
4.1 引言	第46页
4.2 制造工艺对硅应变传感器应力的影响	第46-49页
4.3 降低制造过程所产生应力的综合方法	第49-51页
4.4 本章小结	第51-53页
第五章试验研究	第53-65页
5.1 引言	第53页
5.2 SISTPB可靠性优化设计效果试验	第53-58页
5.2.1 试验方法	第53-54页
5.2.2 试验过程	第54页
5.2.3 试验数据及结果分析	第54-58页
5.3 降低制造过程所产生应力的综合方法效果试验	第58-63页
5.3.1 试验方法	第59页
5.3.2 试验过程	第59页
5.3.3 试验数据	第59-63页
5.3.4 试验结论	第63页
5.4 本章小结	第63-65页
总结与展望	第65-66页
参考文献	第66-70页
攻读硕士学位期间取得的研究成果	第70-71页
致谢	第71-72页
附录	第72页

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