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基于RF MEMS开关的可变微波均衡器的优化设计

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基于RF MEMS开关的可变微波均衡器的优化设计
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 绪论第8-18页
  1.1 射频微电子机械系统(RF MEMS)简介第8-9页
    1.1.1 RF MEMS的特点第8页
    1.1.2 RF MEMS的应用第8-9页
  1.2 RF MEMS开关简介第9-13页
    1.2.1 RF MEMS开关特点第9-10页
    1.2.2 RF MEMS开关构造第10-11页
    1.2.3 热驱动MEMS开关的研究发展第11-13页
  1.3 微波均衡器简介第13-17页
    1.3.1 均衡器原理第13-14页
    1.3.2 吸收式微波均衡器分类第14-15页
    1.3.3 微带均衡器研究现状第15-17页
  1.4 本文主要工作第17-18页
第二章 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器理论分析第18-28页
  2.1 微波均衡器理论模型第18-19页
  2.2 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器理论模型第19-22页
    2.2.1 衰减形状可变微波均衡器理论模型第20页
    2.2.2 最大衰减量可变微波均衡器理论模型第20-22页
  2.3 热驱动RF MEMS开关理论第22-27页
    2.3.1 V型梁热驱动器动力学模型第22-24页
    2.3.2 热驱动RF MEMS开关的电磁特性分析第24-27页
  2.4 本章小结第27-28页
第三章 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器仿真与设计第28-46页
  3.1 仿真软件介绍第28页
  3.2 下降曲线族最大衰减量可变微波均衡器第28-37页
    3.2.1 下降曲线族可变微波均衡器ADS仿真和设计第29-31页
    3.2.2 下降曲线族可变微波均衡器HFSS仿真和设计第31-37页
  3.3 上升曲线族最大衰减量可变微波均衡器第37-42页
    3.3.1 上升曲线族可变微波均衡器ADS仿真和设计第37-38页
    3.3.2 上升曲线族可变微波均衡器HFSS仿真和设计第38-42页
  3.4 RF MEMS推拉开关模拟和设计第42-44页
  3.5 本章小结第44-46页
第四章 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器版图设计第46-52页
  4.1 MetalMUMPs加工工艺介绍第46-48页
  4.2 可变微波均衡器和RF MEMS开关版图第48-51页
    4.2.1 MetalMUMPs工艺版图设计规则第48-49页
    4.2.2 RF MEMS推拉开关版图第49页
    4.2.3 下降曲线族可变微波均衡器版图第49-50页
    4.2.4 上升曲线族可变微波均衡器版图第50-51页
  4.3 本章小结第51-52页
第五章 总结与展望第52-54页
  5.1 论文总结第52-53页
  5.2 课题展望第53-54页
致谢第54-56页
参考文献第56-60页
作者简介第60页

本篇论文共60页,点击这进入下载页面
 
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