SEM下三维可视化遥纳操作系统研究

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SEM下三维可视化遥纳操作系统研究

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SEM下三维可视化遥纳操作系统研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第1章绪论	第9-14页
1.1 课题来源	第9页
1.2 课题研究的目的和意义	第9-10页
1.3 国内外微纳操作研究现状	第10-12页
1.4 现有遥微纳操作的技术问题	第12-13页
1.5 本文主要研究内容	第13-14页
第2章虚拟环境建模	第14-22页
2.1 虚拟纳米操作模型的建立	第14-17页
2.1.1 虚拟对象表达与几何建模种类	第14-15页
2.1.2 虚拟对象的面模型创建	第15-16页
2.1.3 虚拟场景建立	第16-17页
2.2 虚拟模型的碰撞检测	第17-19页
2.2.1 碰撞检测的分类	第17-18页
2.2.2 探针与纳米线的碰撞检测	第18-19页
2.3 虚拟力觉渲染	第19-21页
2.3.1 探针与操作基底之间的力	第19-20页
2.3.2 纳米线与操作基底之间的力	第20页
2.3.3 探针与纳米线之间的力	第20-21页
2.4 本章小结	第21-22页
第3章力觉接口的稳定性与性能分析	第22-31页
3.1 力觉交互系统建模	第22-23页
3.2 力觉交互系统的稳定性判据	第23-25页
3.2.1 系统无源性及其判据	第24页
3.2.2 系统绝对稳定性及其判据	第24-25页
3.3 基于二端口网络的力觉交互系统稳定性与性能分析	第25-30页
3.3.1 未引入虚拟匹配环节的系统稳定性分析	第25-26页
3.3.2 引入虚拟匹配环节的系统稳定性分析	第26-29页
3.3.3 引入虚拟匹配环节的系统性能评价	第29-30页
3.4 本章小结	第30-31页
第4章二维SEM图像的三维目标特征提取	第31-40页
4.1 目标物的平面信息提取	第31-34页
4.1.1 Canny目标边缘检测	第31-32页
4.1.2 改进霍夫(Hough)直线变换	第32-34页
4.2 操作工具的深度信息提取	第34-38页
4.3 基于图像的操作工具闭环控制	第38-39页
4.4 本章小结	第39-40页
第5章实验平台搭建与结果分析	第40-48页
5.1 系统总体结构	第40-43页
5.1.1 力反馈设备	第41页
5.1.2 纳米定位器	第41-42页
5.1.3 扫描电子显微镜（SEM）	第42-43页
5.2 控制流程与软件构架	第43-46页
5.2.1 遥纳操作控制流程	第43-45页
5.2.2 系统软件构架	第45-46页
5.3 实验过程与结果分析	第46-47页
5.4 本章小结	第47-48页
结论	第48-49页
参考文献	第49-54页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文	第54-55页
致谢	第55页

本篇论文共55页，点击这进入下载页面。

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