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基于钝化多孔硅的光纤SO2传感技术研究

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基于钝化多孔硅的光纤SO2传感技术研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-8 页
1 引言第8-24 页
  · 环境中二氧化硫的来源及其危害第9-11 页
    · 二氧化硫的来源第9-10 页
    · 二氧化硫的危害第10-11 页
  · 环境中二氧化硫监测技术研究现状第11-17 页
    · 分光光度法第11-13 页
    · 电学分析法第13-14 页
    · 离子色谱法第14 页
    · 光谱分析法第14-15 页
    · 其他新型检测方法第15-17 页
  · 多孔硅材料第17-21 页
    · 多孔硅材料研究现状及应用第17-19 页
    · 多孔硅的制备方法第19-20 页
    · 多孔硅的钝化第20-21 页
  · 光纤传感技术的研究现状第21-23 页
    · 光纤传感器的工作原理第21 页
    · 光纤传感器仪器结构第21 页
    · 光纤传感技术的研究现状及发展方向第21-22 页
    · 光纤传感器的应用第22-23 页
    · 光纤气敏传感器第23 页
  · 论文的研究内容及意义第23-24 页
2 实验第24-33 页
  · 多孔硅制备第24-26 页
    · 仪器、试剂及材料第24 页
    · 多孔硅形成机理第24-25 页
    · 制备流程及装置图第25-26 页
  · 多孔硅钝化第26-27 页
    · 基本原理第26 页
    · 钝化工艺及装置第26-27 页
  · 钝化多孔硅的性质第27-28 页
    · 光致发光第27 页
    · 表面形貌及组成第27 页
    · 孔隙率及膜厚第27-28 页
  · 二氧化硫传感性能第28-33 页
    · 传感实验装置第28-29 页
    · 传感过程第29-30 页
    · 传感性能评价第30-33 页
3 结果与讨论第33-58 页
  · 多孔硅发光机理第33-35 页
  · 多孔硅制备条件对其发光性能的影响第35-38 页
    · 电解液组成第35-36 页
    · 电流密度第36-37 页
    · 氧化时间第37-38 页
  · 多孔硅钝化第38-46 页
    · 钝化处理溶液组成及配比第38-39 页
    · 钝化处理前后多孔硅发光比较第39-42 页
    · 钝化处理前后多孔硅理化性质第42-46 页
    · 多孔硅钝化前后孔隙率及膜厚的变化第46 页
  · 钝化多孔硅对SO_2传感性能第46-58 页
    · 定性分析第47 页
    · 定量研究第47-49 页
    · 选择性第49-50 页
    · 响应时间第50-52 页
    · 稳定性第52-54 页
    · 可逆性第54-55 页
    · 钝化多孔硅荧光猝灭动力学分析第55-56 页
    · 检出限第56-58 页
4 结论与展望第58-60 页
  · 结论第58-59 页
  · 展望第59-60 页
致谢第60-61 页
参考文献第61-65 页
附录第65页

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