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钇掺杂二氧化铪纳米薄膜电容器的制备工艺及性能研究

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钇掺杂二氧化铪纳米薄膜电容器的制备工艺及性能研究
论文目录
 
摘要第1-3页
Abstract第3-7页
第一章 绪论第7-28页
  1.1 HfO_2基高k介电材料及其在微电子工业中应用现状第7-13页
  1.2 HfO_2基薄膜铁电材料研究现状第13-20页
    1.2.1 电介质的极化和铁电材料第13-15页
    1.2.2 HfO_2基新型铁电薄膜的发现与研究现状第15-20页
  1.3 二氧化铪薄膜制备方法第20-24页
    1.3.1 原子层沉积法(ALD)第20页
    1.3.2 溶胶-凝胶法(Sol-Gel)第20页
    1.3.3 物理气相沉积法(PVD)第20-23页
    1.3.4 射频反应磁控溅射原理第23-24页
  1.4 TiN薄膜的研究现状第24-26页
    1.4.1 TiN薄膜介绍第24-25页
    1.4.2 TiN薄膜的制备方法和工艺第25-26页
    1.4.3 TiN薄膜的应用第26页
  1.5 本论文研究内容与目的第26-28页
第二章 实验部分第28-41页
  2.1 实验试剂与仪器第28-32页
    2.1.1 常用试剂与耗材第28-29页
    2.1.2 氮化钛薄膜电极真空溅射系统第29-30页
    2.1.3 二氧化铪基薄膜样品制备系统第30-31页
    2.1.4 快速退火炉第31-32页
  2.2 薄膜性能的表征第32-37页
    2.2.1 薄膜成分分析第32页
    2.2.2 薄膜表面形貌分析第32页
    2.2.3 薄膜晶体结构分析第32-33页
    2.2.4 薄膜厚度分析第33-34页
    2.2.5 薄膜电极四探针测量原理第34-35页
    2.2.6 薄膜电容器电性能测试原理第35-37页
  2.3 MIM结构电容器的制备第37-41页
    2.3.1 硅片清洗标准步骤第37-38页
    2.3.2 掩膜版的设计第38-39页
    2.3.3 MIM结构薄膜电容器的集成第39-41页
第三章 TiN薄膜电极的制备第41-48页
  3.1 TiN薄膜成分的分析第41-42页
  3.2 沉积温度对TiN薄膜物相、表面粗糙度、厚度以及电阻率的影响第42-45页
    3.2.1 沉积温度对TiN薄膜物相的影响第42-43页
    3.2.2 沉积温度对TiN薄膜表面形貌的影响第43-44页
    3.2.3 沉积温度对TiN薄膜厚度及电阻率的影响第44-45页
  3.3 超薄TiN薄膜电极的制备第45-46页
  3.4 本章小结第46-48页
第四章 中频反应磁控溅射法制备Y掺杂HfO_2薄膜第48-59页
  4.1 射频溅射功率对Y掺杂含量、薄膜晶相、密度和表面状态的影响第48-54页
    4.1.1 射频溅射功率对Y掺杂浓度的影响第48-50页
    4.1.2 Y掺杂含量对薄膜晶相结构的影响第50-52页
    4.1.3 Y掺杂含量对薄膜密度及表面状态的影响第52-54页
  4.2 沉积时间对薄膜厚度、薄膜物相以及表面糙粗度的影响第54-58页
    4.2.1 沉积时间对薄膜厚度的影响第54-56页
    4.2.2 沉积时间对薄膜物相的影响第56-57页
    4.2.3 沉积时间对薄膜表面粗糙度的影响第57-58页
  4.3 本章小结第58-59页
第五章 Y:HfO_2薄膜电容器的集成及其电学性能测试第59-64页
  5.1 不同溅射时间的Y:HfO_2薄膜电学性能测试第59-60页
  5.2 不同Y掺杂含量的Y:HfO_2薄膜电学性能测试第60-63页
  5.3 本章小结第63-64页
结论第64-65页
参考文献第65-70页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第70-71页
致谢第71-73页

本篇论文共73页,点击这进入下载页面
 
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