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高纯三氯化硼的纯化研究
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高纯三氯化硼的纯化研究
论文目录
摘要
第1-3页
Abstract
第3-7页
引言
第7-8页
1 文献综述
第8-20页
1.1 高纯三氯化硼国内外现状
第8-9页
1.2 三氯化硼
第9-13页
1.2.1 三氯化硼的理化性质[3]
第9-10页
1.2.2 三氯化硼的制备
第10-12页
1.2.3 三氯化硼纯化技术
第12-13页
1.3 吸附理论及吸附剂研究
第13-18页
1.3.1 吸附的定义
第13页
1.3.2 气相吸附
第13-15页
1.3.3 液相吸附
第15页
1.3.4 改性沸石分子筛
第15-18页
1.4 选题背景
第18-19页
1.5 研究内容及技术关键
第19-20页
1.5.1 主要研究内容
第19页
1.5.2 主要技术关键
第19-20页
2 实验原料、设备及方法
第20-32页
2.1 实验原料
第20页
2.2 实验设备及工艺流程
第20-22页
2.2.1 实验设备
第20-21页
2.2.2 三氯化硼提纯工艺流程设计图
第21-22页
2.3 分析方法
第22-31页
2.3.1 纯度
第22-23页
2.3.2 采样方法
第23页
2.3.3 氧(含氩)、氮含量的测定
第23-27页
2.3.4 一氧化碳、二氧化碳和甲烷含量的测定
第27-29页
2.3.5 金属杂质含量的测定
第29-31页
2.4 本章小结
第31-32页
3 吸附剂及工艺参数对三氯化硼中杂质脱除效果的影响
第32-43页
3.1 吸附剂对三氯化硼中杂质脱除效果的影响
第32-34页
3.1.1 活性炭
第32页
3.1.2 13X分子筛
第32-33页
3.1.3 丝光沸石分子筛
第33页
3.1.4 自制吸附剂
第33-34页
3.2 工艺参数对杂质脱除效果的影响
第34-39页
3.2.1 超临界气化分离BCl3中O_2、N_2杂质的研究
第34-36页
3.2.2 压力对吸附剂KY-05 的影响。
第36-37页
3.2.3 体积流量对多级常温吸附效果的影响
第37-38页
3.2.4 水浴加热减容蒸馏和深冷抽空除低沸点杂质
第38-39页
3.2.5 BCl_3中固体颗粒物的脱除
第39页
3.3 瓶装BCl_3稳定性长期考察
第39-40页
3.4 再生置换的选择和考察[31]
第40-41页
3.5 本章小结
第41-43页
结论与设想
第43-45页
参考文献
第45-47页
致谢
第47-49页
本篇论文共
49
页,
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