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高纯三氯化硼的纯化研究

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高纯三氯化硼的纯化研究
论文目录
 
摘要第1-3页
Abstract第3-7页
引言第7-8页
1 文献综述第8-20页
  1.1 高纯三氯化硼国内外现状第8-9页
  1.2 三氯化硼第9-13页
    1.2.1 三氯化硼的理化性质[3]第9-10页
    1.2.2 三氯化硼的制备第10-12页
    1.2.3 三氯化硼纯化技术第12-13页
  1.3 吸附理论及吸附剂研究第13-18页
    1.3.1 吸附的定义第13页
    1.3.2 气相吸附第13-15页
    1.3.3 液相吸附第15页
    1.3.4 改性沸石分子筛第15-18页
  1.4 选题背景第18-19页
  1.5 研究内容及技术关键第19-20页
    1.5.1 主要研究内容第19页
    1.5.2 主要技术关键第19-20页
2 实验原料、设备及方法第20-32页
  2.1 实验原料第20页
  2.2 实验设备及工艺流程第20-22页
    2.2.1 实验设备第20-21页
    2.2.2 三氯化硼提纯工艺流程设计图第21-22页
  2.3 分析方法第22-31页
    2.3.1 纯度第22-23页
    2.3.2 采样方法第23页
    2.3.3 氧(含氩)、氮含量的测定第23-27页
    2.3.4 一氧化碳、二氧化碳和甲烷含量的测定第27-29页
    2.3.5 金属杂质含量的测定第29-31页
  2.4 本章小结第31-32页
3 吸附剂及工艺参数对三氯化硼中杂质脱除效果的影响第32-43页
  3.1 吸附剂对三氯化硼中杂质脱除效果的影响第32-34页
    3.1.1 活性炭第32页
    3.1.2 13X分子筛第32-33页
    3.1.3 丝光沸石分子筛第33页
    3.1.4 自制吸附剂第33-34页
  3.2 工艺参数对杂质脱除效果的影响第34-39页
    3.2.1 超临界气化分离BCl3中O_2、N_2杂质的研究第34-36页
    3.2.2 压力对吸附剂KY-05 的影响。第36-37页
    3.2.3 体积流量对多级常温吸附效果的影响第37-38页
    3.2.4 水浴加热减容蒸馏和深冷抽空除低沸点杂质第38-39页
    3.2.5 BCl_3中固体颗粒物的脱除第39页
  3.3 瓶装BCl_3稳定性长期考察第39-40页
  3.4 再生置换的选择和考察[31]第40-41页
  3.5 本章小结第41-43页
结论与设想第43-45页
参考文献第45-47页
致谢第47-49页

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