教育论文网

诊断绝缘薄膜沉积环境等离子体的谐波探针方法研究

硕士博士毕业论文站内搜索    
分类:教育论文网→数理科学和化学论文→等离子体物理学论文
诊断绝缘薄膜沉积环境等离子体的谐波探针方法研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-14页
  1.1 等离子体及其应用简介第9-11页
  1.2 等离子体的诊断方法第11-12页
  1.3 谐波探针方法的发展现状第12-13页
  1.4 本文主要工作第13-14页
2 实验所用静电探针诊断原理第14-20页
  2.1 单探针的基本原理第14-17页
    2.1.1 Langmuir单探针结构第14-15页
    2.1.2 Langmuir单探针的基本分析方法第15-17页
  2.2 谐波探针的实验原理第17-20页
    2.2.1 谐波探针结构第17-18页
    2.2.2 谐波探针诊断方法的理论分析第18-20页
3 实验装置第20-29页
  3.1 基于LabVIEW的探针装置第20-23页
    3.1.1 探针装置整体外观第20-21页
    3.1.2 Langmuir单探针系统操作界面第21-22页
    3.1.3 谐波探针偏压信号源电路的探索第22页
    3.1.4 谐波探针系统操作界面第22-23页
  3.2 在微波ECR等离子体放电设备中的诊断装置第23-26页
    3.2.1 微波ECR等离子体放电设备第23-25页
    3.2.2 DLC薄膜沉积环境等离子体诊断实验装置第25-26页
    3.2.3 SiN_x薄膜沉积环境等离子体诊断实验装置第26页
  3.3 薄膜厚度的测量第26-29页
4 诊断实验结果与讨论第29-37页
  4.1 Ar放电条件下偏压信号频率f对谐波探针诊断结果的影响第29-30页
  4.2 Ar放电条件下偏压信号幅度V_0对谐波探针诊断结果的影响第30-32页
    4.2.1 不同微波功率下T_e、n_i随V_0的变化第30-31页
    4.2.2 不同放电气压下T_e、n_i随V_0的变化第31页
    4.2.3 偏压幅度V_0对谐波探针诊断结果影响的分析第31-32页
  4.3 谐波探针和传统Langmuir单探针诊断结果的比较第32-34页
    4.3.1 两种探针诊断结果比较第32-34页
    4.3.2 比较结果分析第34页
  4.4 薄膜沉积环境下谐波探针对等离子体T_e、n_i的诊断第34-37页
    4.4.1 CVD制备DLC薄膜环境下的等离子体诊断第34-35页
    4.4.2 RF磁控溅射沉积SiN_x薄膜环境下的等离子体诊断第35-37页
5 谐波探针的仪器化设计第37-42页
  5.1 软件程序框图第37-40页
  5.2 软件程序操作界面第40-41页
  5.3 结果验证第41-42页
结论第42-43页
参考文献第43-47页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第47-48页
致谢第48-49页

本篇论文共49页,点击这进入下载页面
 
更多论文
诊断绝缘薄膜沉积环境等离子体的谐
高速氩气流的交流击穿特性
水中脉冲火花放电发射光谱时空演化
介质阻挡放电均匀性及模式转变研究
托卡马克边缘等离子体中锂杂质输运
托卡马克中等离子体压强对双撕裂模
偏压对磁控溅射制备AlMgB薄膜的影响
利用超短脉冲激光调控分子的振动量
脉冲调制射频容性耦合H2
偏侧预备电位的决策机理的研究
转基因作物产业技术演化和企业竞争
动植物新品种专利保护的中美比较研
活细胞内Hg~(2+)识别成像荧光探针
典型行业废水及复合污染物的生物毒
固定化复合芽孢杆菌微生态制剂产品
嗜吡啶红球菌GF3共代谢降解蒽醌化合
一种逐步增长肽段的柔性多肽对接方
石墨烯及其表面官能化衍生物对大型
Desulfovibrio sp.CMX硝酸盐异化还
生物有效性修正的苯并[a]芘土壤降解
重组制备人细胞质谷草转氨酶及结晶
TRIM11通过MCL1调控线粒体功能及细
α-葡萄糖苷酶抑制剂的虚拟筛选和分
亚洲玉米螟Ⅲ家族几丁质酶的克隆表
耐旱基因SiUPF3的生物信息学和功能
番茄SpWRKY6转录因子的抗病功能研究
柞蚕溶茧酶活性位点的预测及验证
利用铬铜镉荧光探针示踪生物阴极电
双酚F降解菌的异养硝化—好氧反硝化
制药废水及复合污染物对水生生物的
Acinetobacter sp.WB-1同步脱氮除C
细胞核荧光探针的设计合成及应用
一步构筑生物传感界面及其活体检测
三维交互式生化分析及基因工程虚拟
面向转氨酶检测的电化学微纳传感技
蛋白质批量同源性搜索及DNA模体识别
表面等离子体共振谱仪用于糖蛋白的
集成特征选择与基因调控网络构建研
人线粒体天冬氨酸转氨酶结晶及晶体
嗜盐碱微藻藻种筛选及其产油条件优
大型海藻褐藻的水热处理研究
典型行业废水及环境污染物的藻类毒
家蚕CPAP3蛋白的重组表达与纯化及性
獐茅液泡膜氢离子焦磷酸酶基因AlVP
考虑鱼类多样性的丰满水库生态调度
环境敏感型荧光染料合成及白蛋白识
鸟类头部抗冲击特性研究
 
谐波探针论文 等离子体诊断论文 Langmuir探针论文 绝缘薄膜沉积论文
版权申明:目录由用户zhangyanh**提供,www.51papers.com仅收录目录,作者需要删除这篇论文目录请点击这里
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved