白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术研究

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白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术研究

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白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术研究

论文目录
致谢	第1-6页
摘要	第6-7页
Abstract	第7-9页
目录	第9-11页
1 绪论	第11-25页
· 课题的研究背景及意义	第11-12页
· 表面形貌测量技术的研究现状	第12-22页
· 表面形貌测量方法	第12-17页
· 抗振反馈干涉技术	第17-22页
· 表面形貌测量技术的发展	第22页
· 论文的主要研究内容	第22-24页
· 本章小结	第24-25页
2 基于主动抗振的白光波长扫描干涉测量	第25-35页
· 引言	第25页
· 白光波长扫描干涉原理	第25-28页
· 常用显微干涉仪结构	第25-27页
· 白光波长扫描干涉法	第27-28页
· 基于DSP的主动抗振反馈方法	第28-29页
· 基于主动抗振的表面形貌测量系统设计	第29-34页
· 声光滤光器模块	第30-33页
· CCD图像采集模块	第33-34页
· 本章小结	第34-35页
3 白光干涉抗振补偿算法研究	第35-44页
· 引言	第35页
· 相位提取算法	第35-42页
· 光谱相移法	第35-36页
· 光强-相位探测法	第36-37页
· 波峰计数法	第37-38页
· 傅里叶变换法	第38-42页
· 抗振补偿算法	第42-43页
· 本章小结	第43-44页
4 基于DSP的抗振反馈控制系统设计	第44-56页
· 引言	第44页
· 硬件总体设计	第44-45页
· DSP及外围电路设计	第45-52页
· DSP最小系统设计	第45-47页
· A/D数据采集电路设计	第47-48页
· D/A转换电路设计	第48-49页
· 异步串行口设计	第49-50页
· 存储器设计	第50-52页
· DSP程序编制	第52-55页
· DSP主程序	第53-54页
· DSP自举加载程序	第54-55页
· 本章小结	第55-56页
5 表面形貌测量系统集成与实验研究	第56-68页
· 引言	第56页
· 系统集成	第56-57页
· 抗振反馈实验及数据处理	第57-67页
· 表面评定参数	第57-59页
· 抗振反馈实验	第59-67页
· 本章小结	第67-68页
6 总结与展望	第68-70页
· 总结	第68页
· 展望	第68-70页
参考文献	第70-74页
作者在研期间所取得的科研成果和参与的科研项目	第74 页

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