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大尺寸硅片超精密磨床磨削系统动态仿真技术研究

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大尺寸硅片超精密磨床磨削系统动态仿真技术研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
第一章 绪论第10-20页
  · 课题研究背景第10-11页
  · 硅片加工工艺概述第11-18页
    · 传统硅片加工工艺第11-12页
    · 硅片磨削技术的发展第12-14页
    · 硅片超精密磨床概述第14-18页
  · 课题研究意义及主要内容第18-19页
    · 课题研究意义第18页
    · 主要研究内容第18-19页
  本章小结第19-20页
第二章 硅片旋转磨削原理及结构分析第20-34页
  · 硅片自旋转磨削原理第20-21页
  · 硅片自旋转磨削运动学建模第21-22页
  · 磨削系统结构分析第22-33页
    · 磨削主系统第23-26页
    · 滚珠丝杠螺母副第26-28页
    · 辅助磨削系统第28-33页
  本章小结第33-34页
第三章 硅片超精密磨床磨削系统虚拟样机系统开发第34-53页
  · 虚拟样机技术概述第34-35页
  · 虚拟样机开发所涉及的关键技术第35-43页
    3.2.1 异步模式下 Pro/E 的二次开发第35-40页
    · 三维图形变换技术第40-42页
    · 逐帧动画技术第42-43页
  · 硅片超精密磨床虚拟样机的搭建及动态仿真的实现第43-52页
    · 虚拟样机总体设计第43-46页
    · 软硬件配置第46页
    · 磨削系统的建模第46-47页
    · 虚拟装配及干涉检查第47-49页
    · 动态仿真的实现第49-52页
  本章小结第52-53页
第四章 磨削系统运动分析第53-60页
  · 磨削系统关键部件运动分析第53-56页
  · 磨削砂轮上某一点相对被加工硅片的运动轨迹分析第56-57页
  · 不同磨削参数对硅片面型的影响第57-59页
  本章小结第59-60页
结论第60-61页
参考文献第61-64页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第64-65页
致谢第65-66 页

本篇论文共66页,点击这进入下载页面
 
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